序号

采购项目名称

采购需求概况

预算金额

（万元）

预计采购时间

（填写到月）

备注

1

(略) (略) 科研设备采购

原子层沉积系统1涛，原子层沉积技术是 * 种原子尺度的薄膜制备技术，它可以沉积均匀 * 致，厚度可控、成分可调的超薄薄膜，厚度可以小至十几纳米到几个纳米数量级。电弧等离子体沉积系统1套，电弧等离子体沉积系统利用脉冲电弧放电将电导材料离子化，产生高能离子并沉积在基底上，制备纳米级薄膜镀层或纳米颗粒。加热型紫外臭氧清洗机1台，是 * 款可加热型的 臭氧清洗机，温度可达 * 摄氏度，设备可以用于清洗各种基片，为制作高质量的薄膜打好基础，等离子体清洗机1台，该设备采用石英腔体、射频电源、 * 挡功率输出，可以通空气、氩气的气体的等离子体来清洗基片表面的污染物，同时改变表面的性质。

*

* 年 * 月

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采购需求概况

预算金额

（万元）

预计采购时间

（填写到月）

备注

1

(略) (略) 科研设备采购

原子层沉积系统1涛，原子层沉积技术是 * 种原子尺度的薄膜制备技术，它可以沉积均匀 * 致，厚度可控、成分可调的超薄薄膜，厚度可以小至十几纳米到几个纳米数量级。电弧等离子体沉积系统1套，电弧等离子体沉积系统利用脉冲电弧放电将电导材料离子化，产生高能离子并沉积在基底上，制备纳米级薄膜镀层或纳米颗粒。加热型紫外臭氧清洗机1台，是 * 款可加热型的 臭氧清洗机，温度可达 * 摄氏度，设备可以用于清洗各种基片，为制作高质量的薄膜打好基础，等离子体清洗机1台，该设备采用石英腔体、射频电源、 * 挡功率输出，可以通空气、氩气的气体的等离子体来清洗基片表面的污染物，同时改变表面的性质。

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