湖南大学2021年4月政府采购意向-步进式光刻机系统-1采购标的名称步进式光刻机系统2采购标的需实现的主要功能
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湖南大学2021年4月政府采购意向-步进式光刻机系统-1采购标的名称步进式光刻机系统2采购标的需实现的主要功能
| 步进式光刻机系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 年4月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 步进式光刻机系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> |
| 采购需求概况： | 1.采购标的名称：步进式光刻机系统2.采购标的需实现的主要功能或者目标：硅片器件光刻曝光3.采购标的数量：1台套4.采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求：适用于4/6寸硅片，1-4cm2大小不规则样品的I线光刻胶的曝光。晶圆的正面套刻对准及曝光工艺，设备采用步进式光刻技术。最小线宽小于0. * μm， (略) 不低于 * mm* * mm，曝光功率 * mw/cm2 ，照度均匀性小于2%，镜头畸变小于0. * um以内的全自动机台。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
| 步进式光刻机系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 年4月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 步进式光刻机系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> |
| 采购需求概况： | 1.采购标的名称：步进式光刻机系统2.采购标的需实现的主要功能或者目标：硅片器件光刻曝光3.采购标的数量：1台套4.采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求：适用于4/6寸硅片，1-4cm2大小不规则样品的I线光刻胶的曝光。晶圆的正面套刻对准及曝光工艺，设备采用步进式光刻技术。最小线宽小于0. * μm， (略) 不低于 * mm* * mm，曝光功率 * mw/cm2 ，照度均匀性小于2%，镜头畸变小于0. * um以内的全自动机台。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
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