电子束蒸发系统招标预告
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电子束蒸发系统招标预告
| 电子束蒸发系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 电子束蒸发系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 电子束蒸发仪是集成电子束蒸发的物理气相沉积系统，该系统适用于多种材料体系薄膜的制备，如实验室中用于在衬底上生长半导体薄膜以及 * 些金属电极，如SiO2，ITO，Al，Ni，Ti等，尤其是剥离工艺（lift-off process）。 主腔室压强可到5× * -7 Torr。电子束蒸发系统是半导体器件制备工艺中不可缺少的仪器设备。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
| 电子束蒸发系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 电子束蒸发系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 电子束蒸发仪是集成电子束蒸发的物理气相沉积系统，该系统适用于多种材料体系薄膜的制备，如实验室中用于在衬底上生长半导体薄膜以及 * 些金属电极，如SiO2，ITO，Al，Ni，Ti等，尤其是剥离工艺（lift-off process）。 主腔室压强可到5× * -7 Torr。电子束蒸发系统是半导体器件制备工艺中不可缺少的仪器设备。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
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