等离子体增强化学气相沉积系统招标预告
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等离子体增强化学气相沉积系统招标预告
| 等离子体增强化学气相沉积系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 等离子体增强化学气相沉积系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 等离子体增强化学气相沉积系统（PECVD）：是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离， (略) 形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基 (略) 期望的薄膜。为了使化学反应能在较低 (略) ，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD).是半导体器件制备过程中不可缺少的仪器设备。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
| 等离子体增强化学气相沉积系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 等离子体增强化学气相沉积系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 等离子体增强化学气相沉积系统（PECVD）：是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离， (略) 形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基 (略) 期望的薄膜。为了使化学反应能在较低 (略) ，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD).是半导体器件制备过程中不可缺少的仪器设备。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
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