西安交通大学2021年3至12月政府采购意向-多靶磁控溅射镀膜系统-本项目采购多靶磁控溅射镀膜系统1套。该系统满足微纳电子器件(
西安交通大学2021年3至12月政府采购意向-多靶磁控溅射镀膜系统-本项目采购多靶磁控溅射镀膜系统1套。该系统满足微纳电子器件(
多靶磁控溅射镀膜系统 | |
(略) 在采购意向: | (略) * 月政府采购意向 |
采购单位: | (略) |
采购项目名称: | 多靶磁控溅射镀膜系统 |
预算金额: | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
采购品目: | A * 其他不另分类的物品 |
采购需求概况: | 本项目采购多靶磁控溅射镀膜系统1套。该系统满足微纳电子器件(相变、阻变 (略) 分光电子器件)对功能、介质、金属薄膜的磁控溅射生长制备条件的要求,可在高真空环境中实现多种溅射模式下(单靶直溅、多靶共溅、多靶轮流溅射、反应溅射)纳米级单层/多层功能薄膜的高精度、高均匀性、 (略) 整性可控制备。该系统具有精 (略) 、气体、电源、真空、温度等解决方案,主要用于制备硫系化合物相关的金属、合金、半导体、磁性材料等。 |
预计采购时间: | 点击查看>> |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排, (略) 和采购文件为准。
多靶磁控溅射镀膜系统 | |
(略) 在采购意向: | (略) * 月政府采购意向 |
采购单位: | (略) |
采购项目名称: | 多靶磁控溅射镀膜系统 |
预算金额: | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
采购品目: | A * 其他不另分类的物品 |
采购需求概况: | 本项目采购多靶磁控溅射镀膜系统1套。该系统满足微纳电子器件(相变、阻变 (略) 分光电子器件)对功能、介质、金属薄膜的磁控溅射生长制备条件的要求,可在高真空环境中实现多种溅射模式下(单靶直溅、多靶共溅、多靶轮流溅射、反应溅射)纳米级单层/多层功能薄膜的高精度、高均匀性、 (略) 整性可控制备。该系统具有精 (略) 、气体、电源、真空、温度等解决方案,主要用于制备硫系化合物相关的金属、合金、半导体、磁性材料等。 |
预计采购时间: | 点击查看>> |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排, (略) 和采购文件为准。
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