中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所广东（佛山）研究院2021年03月至2021年05月政府采购意向-中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所广东（佛山）研究院氮化镓器件工艺平台服务
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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所广东（佛山）研究院2021年03月至2021年05月政府采购意向-中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所广东（佛山）研究院氮化镓器件工艺平台服务
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《 (略) 关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔 * 〕 * 号）等有关规定，现将本单位 * 年 * 月至 * 年 * 月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | (略) (略) 纳米技术与纳 (略) (略) （ (略) ） (略) 氮化镓器件工艺平台服务 | 标的名称:氮化镓器件工艺平台服务；标的数量:1；主要功能或目标:本项目为氮化镓器件工艺平台服务采购项目。需求包含材料外延生长、芯片工艺设备的提供与保养维护， (略) 务环境的提供。；需满足的要求:需提供材料外延生长、芯片工艺设备，包含：MOCVD、光刻机、刻蚀机、PECVD、镀膜机、离子注入机、键合机、退火炉、清洗机、研磨机、抛光机、减薄机、划片机、裂片机等工艺必需设备以及匀胶机、上膜机、扩膜机、烘箱等相关辅助性设备。同时包含SEM、超声显微镜、光学显微镜、探针台等测试条件的提供。； | 3, * , * . * | * 年 * 月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
(略) (略) 纳米技术与纳 (略) (略) （ (略) ） (略)
* 日
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《 (略) 关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔 * 〕 * 号）等有关规定，现将本单位 * 年 * 月至 * 年 * 月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | (略) (略) 纳米技术与纳 (略) (略) （ (略) ） (略) 氮化镓器件工艺平台服务 | 标的名称:氮化镓器件工艺平台服务；标的数量:1；主要功能或目标:本项目为氮化镓器件工艺平台服务采购项目。需求包含材料外延生长、芯片工艺设备的提供与保养维护， (略) 务环境的提供。；需满足的要求:需提供材料外延生长、芯片工艺设备，包含：MOCVD、光刻机、刻蚀机、PECVD、镀膜机、离子注入机、键合机、退火炉、清洗机、研磨机、抛光机、减薄机、划片机、裂片机等工艺必需设备以及匀胶机、上膜机、扩膜机、烘箱等相关辅助性设备。同时包含SEM、超声显微镜、光学显微镜、探针台等测试条件的提供。； | 3, * , * . * | * 年 * 月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
(略) (略) 纳米技术与纳 (略) (略) （ (略) ） (略)
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