中国科学院宁波材料技术与工程研究所2021年4至7月政府采购意向-微纳结构激光直写系统-传统的紫外光刻技术源于半导体工艺，通常仅面对刚性衬底的应用场
发送至邮箱
中国科学院宁波材料技术与工程研究所2021年4至7月政府采购意向-微纳结构激光直写系统-传统的紫外光刻技术源于半导体工艺，通常仅面对刚性衬底的应用场
| 微纳结构激光直写系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) (略) 材料技术 (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) (略) 材料技术 (略) |
| 采购项目名称： | 微纳结构激光直写系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 激光仪器 |
| 采购需求概况： | 传统的紫外光刻技术源于半导体工艺，通常仅面对刚性 (略) 景，且需要提前加工光刻掩膜版，制备流程较为复杂。而激光图形化直写设备无需掩膜板，直接可将设计数据通过激光直写转换为微纳结构。因此该设备尤其适合于光电子、MEMS、微流控、 * 元光学器件、光掩模、生物电子领域的科学研究。配合多种柔性衬底微结构制备手段（现有的卷绕式磁控溅射和大面积曲面纳米压印系统），可实现在各类柔性基底表面的高精度微纳图形加工，不仅可克服衬底材质带来的限制，也可以克服衬底形状带来的限制，有利于真正实现3D高精度微纳加工。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
| 微纳结构激光直写系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) (略) 材料技术 (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) (略) 材料技术 (略) |
| 采购项目名称： | 微纳结构激光直写系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 激光仪器 |
| 采购需求概况： | 传统的紫外光刻技术源于半导体工艺，通常仅面对刚性 (略) 景，且需要提前加工光刻掩膜版，制备流程较为复杂。而激光图形化直写设备无需掩膜板，直接可将设计数据通过激光直写转换为微纳结构。因此该设备尤其适合于光电子、MEMS、微流控、 * 元光学器件、光掩模、生物电子领域的科学研究。配合多种柔性衬底微结构制备手段（现有的卷绕式磁控溅射和大面积曲面纳米压印系统），可实现在各类柔性基底表面的高精度微纳图形加工，不仅可克服衬底材质带来的限制，也可以克服衬底形状带来的限制，有利于真正实现3D高精度微纳加工。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
招投标大数据
最近搜索
无
热门搜索
无
