上海交通大学2021年5至6月政府采购意向-薄膜精确制造系统-原子层沉积(AtomicLayerDeposition,AL

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上海交通大学2021年5至6月政府采购意向-薄膜精确制造系统-原子层沉积(AtomicLayerDeposition,AL


薄膜精确制造系统
(略) 在采购意向: (略) * 月政府采购意向
采购单位: (略)
采购项目名称:薄膜精确制造系统
预算金额: * . 点击查看>> 万元(人民币)
采购品目:
A 点击查看>> 电子可靠性试验设备
采购需求概况:
原子层沉积(Atomic Layer Deposition,ALD)技术,是 * 种基于有序、表面自饱和反应的化学气相薄膜沉积技术,该工艺可以实现最高精度为单原子层均与级别的薄膜增材制造,而基于ALD的增材制造系统是研究尖端微纳工程科学技术不可缺少的核心设备。该系统包括前驱体供给、反应器、真空、控制等多个子系统,将作为微纳工程科学实验室中材料生长系统 (略) 分将用于电致发光薄膜平板显示器薄膜材料的制备。预期 (略) 根据科研需求灵活准确地制备数个到数十个纳米级别厚度的薄膜,进行不同衬底上不同材料沉积的工艺探索,完善薄膜制备的工艺条件摸索,开创可能的新材料新功能体系和制备路线,为实验总体目标提供材料制备方面的坚实支持。
预计采购时间: 点击查看>>
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排, (略) 和采购文件为准。


薄膜精确制造系统
(略) 在采购意向: (略) * 月政府采购意向
采购单位: (略)
采购项目名称:薄膜精确制造系统
预算金额: * . 点击查看>> 万元(人民币)
采购品目:
A 点击查看>> 电子可靠性试验设备
采购需求概况:
原子层沉积(Atomic Layer Deposition,ALD)技术,是 * 种基于有序、表面自饱和反应的化学气相薄膜沉积技术,该工艺可以实现最高精度为单原子层均与级别的薄膜增材制造,而基于ALD的增材制造系统是研究尖端微纳工程科学技术不可缺少的核心设备。该系统包括前驱体供给、反应器、真空、控制等多个子系统,将作为微纳工程科学实验室中材料生长系统 (略) 分将用于电致发光薄膜平板显示器薄膜材料的制备。预期 (略) 根据科研需求灵活准确地制备数个到数十个纳米级别厚度的薄膜,进行不同衬底上不同材料沉积的工艺探索,完善薄膜制备的工艺条件摸索,开创可能的新材料新功能体系和制备路线,为实验总体目标提供材料制备方面的坚实支持。
预计采购时间: 点击查看>>
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排, (略) 和采购文件为准。

    
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