上海交通大学2021年5至6月政府采购意向-薄膜精确制造系统-原子层沉积(AtomicLayerDeposition,AL
上海交通大学2021年5至6月政府采购意向-薄膜精确制造系统-原子层沉积(AtomicLayerDeposition,AL
薄膜精确制造系统 | |
(略) 在采购意向: | (略) * 月政府采购意向 |
采购单位: | (略) |
采购项目名称: | 薄膜精确制造系统 |
预算金额: | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
采购品目: | A 点击查看>> 电子可靠性试验设备 |
采购需求概况: | 原子层沉积(Atomic Layer Deposition,ALD)技术,是 * 种基于有序、表面自饱和反应的化学气相薄膜沉积技术,该工艺可以实现最高精度为单原子层均与级别的薄膜增材制造,而基于ALD的增材制造系统是研究尖端微纳工程科学技术不可缺少的核心设备。该系统包括前驱体供给、反应器、真空、控制等多个子系统,将作为微纳工程科学实验室中材料生长系统 (略) 分将用于电致发光薄膜平板显示器薄膜材料的制备。预期 (略) 根据科研需求灵活准确地制备数个到数十个纳米级别厚度的薄膜,进行不同衬底上不同材料沉积的工艺探索,完善薄膜制备的工艺条件摸索,开创可能的新材料新功能体系和制备路线,为实验总体目标提供材料制备方面的坚实支持。 |
预计采购时间: | 点击查看>> |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排, (略) 和采购文件为准。
薄膜精确制造系统 | |
(略) 在采购意向: | (略) * 月政府采购意向 |
采购单位: | (略) |
采购项目名称: | 薄膜精确制造系统 |
预算金额: | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
采购品目: | A 点击查看>> 电子可靠性试验设备 |
采购需求概况: | 原子层沉积(Atomic Layer Deposition,ALD)技术,是 * 种基于有序、表面自饱和反应的化学气相薄膜沉积技术,该工艺可以实现最高精度为单原子层均与级别的薄膜增材制造,而基于ALD的增材制造系统是研究尖端微纳工程科学技术不可缺少的核心设备。该系统包括前驱体供给、反应器、真空、控制等多个子系统,将作为微纳工程科学实验室中材料生长系统 (略) 分将用于电致发光薄膜平板显示器薄膜材料的制备。预期 (略) 根据科研需求灵活准确地制备数个到数十个纳米级别厚度的薄膜,进行不同衬底上不同材料沉积的工艺探索,完善薄膜制备的工艺条件摸索,开创可能的新材料新功能体系和制备路线,为实验总体目标提供材料制备方面的坚实支持。 |
预计采购时间: | 点击查看>> |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排, (略) 和采购文件为准。
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