上海交通大学2021年5至6月政府采购意向-薄膜等离子体去除系统-薄膜等离子体去除系统是一种纳米材料干法刻蚀设备。它的原理是在
发送至邮箱
上海交通大学2021年5至6月政府采购意向-薄膜等离子体去除系统-薄膜等离子体去除系统是一种纳米材料干法刻蚀设备。它的原理是在
| 薄膜等离子体去除系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 薄膜等离子体去除系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 集中控制装置 |
| 采购需求概况： | 薄膜等离子体去除系统是 * 种纳米材料干法刻蚀设备。它的原理是在平板电极之间施加高频RF电压信号，从而产生数百微米厚的离子层， (略) 作用下高速运动的离子撞击样品表面实现化学反应蚀刻。该设备作为微纳工程科学实验室 (略) 理 (略) 分将用于包括纳米材料、金属氧化物等薄膜材料的常规干法刻蚀。系统需要实现全自动控制，以此更好地服务于本课题组以及整个实验室相关科研项目的研究。预期 (略) 根据科研需求灵活准确地制备和调控纳米薄膜性能，探索不同工艺优化对相应薄膜性能的改善，为实验总体目标提供材料制备方面的坚实支持。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
| 薄膜等离子体去除系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 薄膜等离子体去除系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 集中控制装置 |
| 采购需求概况： | 薄膜等离子体去除系统是 * 种纳米材料干法刻蚀设备。它的原理是在平板电极之间施加高频RF电压信号，从而产生数百微米厚的离子层， (略) 作用下高速运动的离子撞击样品表面实现化学反应蚀刻。该设备作为微纳工程科学实验室 (略) 理 (略) 分将用于包括纳米材料、金属氧化物等薄膜材料的常规干法刻蚀。系统需要实现全自动控制，以此更好地服务于本课题组以及整个实验室相关科研项目的研究。预期 (略) 根据科研需求灵活准确地制备和调控纳米薄膜性能，探索不同工艺优化对相应薄膜性能的改善，为实验总体目标提供材料制备方面的坚实支持。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
招投标大数据
最近搜索
无
热门搜索
无
