上海交通大学2021年6月政府采购意向-增材镀膜系统-。本项目采购的增材镀膜系统是多功能的物理气相沉积镀膜工具，它
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上海交通大学2021年6月政府采购意向-增材镀膜系统-。本项目采购的增材镀膜系统是多功能的物理气相沉积镀膜工具，它
| 增材镀膜系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 年6月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 增材镀膜系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 电子光学及离子光学仪器 |
| 采购需求概况： | 。本项目采购的增材镀膜系统是多功能的物理气相沉积镀膜工具，它主要应用于增材的共溅射、正溅射和离轴薄膜沉积，同时可兼容离子源辅助沉积功能。该系统将使用优异的控制系统稳定性来保证批次间的工艺重复性和薄膜质量，系统需要实现全自动控制，以此更好地服务于本课题组以及整个实验室相关科研项目的研究。系统主要由工艺腔室、射频系统、 (略) 分组成。预期 (略) 根据科研需求灵活准确地制备数十到数百纳米级别厚度的薄膜，进行不同衬底上不同材料沉积的工艺探索，完善薄膜制备的工艺条件摸索，开创可能的新材料新功能体系和制备路线，为实验总体目标提供材料制备方面的坚实支持。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
| 增材镀膜系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 年6月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 增材镀膜系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 电子光学及离子光学仪器 |
| 采购需求概况： | 。本项目采购的增材镀膜系统是多功能的物理气相沉积镀膜工具，它主要应用于增材的共溅射、正溅射和离轴薄膜沉积，同时可兼容离子源辅助沉积功能。该系统将使用优异的控制系统稳定性来保证批次间的工艺重复性和薄膜质量，系统需要实现全自动控制，以此更好地服务于本课题组以及整个实验室相关科研项目的研究。系统主要由工艺腔室、射频系统、 (略) 分组成。预期 (略) 根据科研需求灵活准确地制备数十到数百纳米级别厚度的薄膜，进行不同衬底上不同材料沉积的工艺探索，完善薄膜制备的工艺条件摸索，开创可能的新材料新功能体系和制备路线，为实验总体目标提供材料制备方面的坚实支持。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
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