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2场发射电子探针显微分析1、名称：场发射电子探针显微分析2、主要功能或目标：可以观察样品的 * 次电子像和背散射电子像；可以实现微区的微量元素分析（数十个或数百个ppm）和微区的高灵敏度成分分析（数十个或数百个ppm的成分变化）、微区的准确定量分析和超轻元素定性和定量分析。另需配置EDS附件。3、数量：1套4、交付时间：合同签订后 * 天内5、需满足的质量要求：须包含①电子光学系统：场发射电子枪，电子枪质保至少1年； * 次电子像分辨率：优于3 nm（ * kV），优于 * nm（ * kV @ * nA），优于 * nm（ * * * nA）；加速电压：不窄于1— * kV范围；②波谱系统：5道波谱仪，每道谱仪配置2块分光晶体，分析元素5B - * U；③光学显微镜系统：定量分析过程中，通过光学显微镜可以控制样品台移动；④样品台系统：样品台移动范围：X≥ * mm，Y≥ * mm，Z≥7 mm；⑤真空系统：电子枪室真空度优于3.5× * -7 Pa，样品室极限真空度优于1.0× * -3 Pa；机械泵+磁悬浮分子泵+离子泵；⑥电子检测器：必备吸收电子检测器、 * 次电子

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2场发射电子探针显微分析1、名称：场发射电子探针显微分析2、主要功能或目标：可以观察样品的 * 次电子像和背散射电子像；可以实现微区的微量元素分析（数十个或数百个ppm）和微区的高灵敏度成分分析（数十个或数百个ppm的成分变化）、微区的准确定量分析和超轻元素定性和定量分析。另需配置EDS附件。3、数量：1套4、交付时间：合同签订后 * 天内5、需满足的质量要求：须包含①电子光学系统：场发射电子枪，电子枪质保至少1年； * 次电子像分辨率：优于3 nm（ * kV），优于 * nm（ * kV @ * nA），优于 * nm（ * * * nA）；加速电压：不窄于1— * kV范围；②波谱系统：5道波谱仪，每道谱仪配置2块分光晶体，分析元素5B - * U；③光学显微镜系统：定量分析过程中，通过光学显微镜可以控制样品台移动；④样品台系统：样品台移动范围：X≥ * mm，Y≥ * mm，Z≥7 mm；⑤真空系统：电子枪室真空度优于3.5× * -7 Pa，样品室极限真空度优于1.0× * -3 Pa；机械泵+磁悬浮分子泵+离子泵；⑥电子检测器：必备吸收电子检测器、 * 次电子