序号

采购项目名称

采购需求概况

预算金额

（万元）

预计采购时间

（填写到月）

备注

1

电镜设备升级

1. 增加硬件指标： 1.1. 基于PCI技术的图形发生器硬件，扫描频率为6 MHz, 且6MHz都可用于像素的自由选址。 1.2. 含有主动抗尖峰脉冲电路，对应温度微小漂移 1.3 需配备6个 * 位高速数据收集和控制系统，通过硬件 (略) 的平移、倾斜、旋转等畸变，可以控制步长低于纳米量级，最小步距增量不大于0.1nm。 1.4. (略) 范围不小于0.5um x 0.5um至2mm x 2mm 1.5. 提供配有法拉第杯的通用样品台， 采用卡钳的方式固定小样片，样品尺寸最大为 * x * mm。 1.6. (略) 精细校准的CHESSY。 1.7.EBL与 * 连用,保证分辨率 1.8.EBL精度优于 * nm 1.9.内含高性 (略) 以及1个 * 寸2k显示屏 2. 软件指标 2.1. 多用户环境，每个用户可以使用独立的文件和参数。 2.2. 无缝集成GDSII编辑器，可对 (略) 分层设计（不低于 * 层）， (略) 理复杂图形的能力。 2.3. 数据输入格式可以为DXF, ASCII, CIF, etc 2.4. 提供多种扫描方式可供选择。提供圆形扫描模式，用于圆形或环形结构的扫描填充,保证图形边缘的光滑，以及低数 (略) 理。 2.5. 可手动或自动方式完成套刻工艺。 2.6. 提供表面编辑模块，可直接在SEM图像上编辑图形，进行精确套刻功能。

* .0

点击查看>>

序号

采购项目名称

采购需求概况

预算金额

（万元）

预计采购时间

（填写到月）

备注

1

电镜设备升级

1. 增加硬件指标： 1.1. 基于PCI技术的图形发生器硬件，扫描频率为6 MHz, 且6MHz都可用于像素的自由选址。 1.2. 含有主动抗尖峰脉冲电路，对应温度微小漂移 1.3 需配备6个 * 位高速数据收集和控制系统，通过硬件 (略) 的平移、倾斜、旋转等畸变，可以控制步长低于纳米量级，最小步距增量不大于0.1nm。 1.4. (略) 范围不小于0.5um x 0.5um至2mm x 2mm 1.5. 提供配有法拉第杯的通用样品台， 采用卡钳的方式固定小样片，样品尺寸最大为 * x * mm。 1.6. (略) 精细校准的CHESSY。 1.7.EBL与 * 连用,保证分辨率 1.8.EBL精度优于 * nm 1.9.内含高性 (略) 以及1个 * 寸2k显示屏 2. 软件指标 2.1. 多用户环境，每个用户可以使用独立的文件和参数。 2.2. 无缝集成GDSII编辑器，可对 (略) 分层设计（不低于 * 层）， (略) 理复杂图形的能力。 2.3. 数据输入格式可以为DXF, ASCII, CIF, etc 2.4. 提供多种扫描方式可供选择。提供圆形扫描模式，用于圆形或环形结构的扫描填充,保证图形边缘的光滑，以及低数 (略) 理。 2.5. 可手动或自动方式完成套刻工艺。 2.6. 提供表面编辑模块，可直接在SEM图像上编辑图形，进行精确套刻功能。

* .0

点击查看>>