中国科学院沈阳自动化研究所2021年6月政府采购意向-等离子体增强化学气相沉积系统-等离子体增强化学气相沉积系统在无水、无氧、无尘的超纯环境下，
发送至邮箱
中国科学院沈阳自动化研究所2021年6月政府采购意向-等离子体增强化学气相沉积系统-等离子体增强化学气相沉积系统在无水、无氧、无尘的超纯环境下，
| 等离子体增强化学气相沉积系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) (略) (略) * 年6月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) (略) (略) |
| 采购项目名称： | 等离子体增强化学气相沉积系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 试验专用设备 |
| 采购需求概况： | 等离子体增强化学气相沉积系统在无水、无氧、无尘的超纯环境下，可实现SiO2、SiNx、a-Si等介质膜的生长，同时具备于实时非接触观测及纳米级定位进样功能，主要指标如下：1.管路模块：1）SiH4流量0- * sccm；2）N * 流量0- * sccm；3）NH3流量0- * sccm；2.腔室模块：1）温度范围 * - * 度；2）RF功率范围0- * W ；3.样品模块：1）具有纳米级进给精度的样品传输功能，保证沉积位置精确可控；4.观察模块：1）能够检测沉积薄膜的表面形貌，实现缺陷位置的精准定位；5.电气模块：1）实现 ≥ 8通道的数据传输。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
| 等离子体增强化学气相沉积系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) (略) (略) * 年6月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) (略) (略) |
| 采购项目名称： | 等离子体增强化学气相沉积系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 试验专用设备 |
| 采购需求概况： | 等离子体增强化学气相沉积系统在无水、无氧、无尘的超纯环境下，可实现SiO2、SiNx、a-Si等介质膜的生长，同时具备于实时非接触观测及纳米级定位进样功能，主要指标如下：1.管路模块：1）SiH4流量0- * sccm；2）N * 流量0- * sccm；3）NH3流量0- * sccm；2.腔室模块：1）温度范围 * - * 度；2）RF功率范围0- * W ；3.样品模块：1）具有纳米级进给精度的样品传输功能，保证沉积位置精确可控；4.观察模块：1）能够检测沉积薄膜的表面形貌，实现缺陷位置的精准定位；5.电气模块：1）实现 ≥ 8通道的数据传输。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
辽宁
辽宁
辽宁
辽宁
辽宁
辽宁
招投标大数据
最近搜索
无
热门搜索
无
