内蒙古大学2021年05月至2021年07月政府采购意向-超高真空双室磁控溅射镀膜设备-采招网

内蒙古大学2021年05月至2021年07月政府采购意向-超高真空双室磁控溅射镀膜设备

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内蒙古大学2021年05月至2021年07月政府采购意向-超高真空双室磁控溅射镀膜设备

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《 (略) 关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔 * 〕 * 号）等有关规定，现将本单位 * 年 * 月至 * 年 * 月采购意向公开如下：

序号	采购项目名称	采购需求概况	预算金额(元)	预计采购时间	备注
1	超高真空双室磁控溅射镀膜设备	标的名称:超高真空双室磁控溅射镀膜设备；标的数量:1；主要功能或目标:(1) 本设备主要用于制备高性能自旋电子学材料及器件。 (2) 本设备需能够高效率、成功制备高性能垂直隧道结等典型、新型、前沿的自旋电子学材料与器件；能够对金属和非 (略) 溅射镀膜。；需满足的要求:(1) 设备包含磁控溅射主镀膜室1个，预真空室 * 个。预真空室能够完成样品的取放、传递、退火功能。退火炉加热温度为室温~ * ?C可控可调。 (2) 主镀膜室本底真空优于5× * -6 Pa；预真空室本底真空优于5× * -5 Pa。 (3) 样品台有至少 * 个基片位。 (4) 本设备主镀膜室需具有8个靶枪位置。 (5) 样品镀膜 (略) 完全程序控制，也具有手动操作模式。 (6) 本设备需有 * 路独立气路设计。 (7) 本设备需具有冷却水系统，保证设备可长时间连续工作。；	1, * , * . *	* 年 * 月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。

(略)

* 日

序号	采购项目名称	采购需求概况	预算金额(元)	预计采购时间	备注
1	超高真空双室磁控溅射镀膜设备	标的名称:超高真空双室磁控溅射镀膜设备；标的数量:1；主要功能或目标:(1) 本设备主要用于制备高性能自旋电子学材料及器件。 (2) 本设备需能够高效率、成功制备高性能垂直隧道结等典型、新型、前沿的自旋电子学材料与器件；能够对金属和非 (略) 溅射镀膜。；需满足的要求:(1) 设备包含磁控溅射主镀膜室1个，预真空室 * 个。预真空室能够完成样品的取放、传递、退火功能。退火炉加热温度为室温~ * ?C可控可调。 (2) 主镀膜室本底真空优于5× * -6 Pa；预真空室本底真空优于5× * -5 Pa。 (3) 样品台有至少 * 个基片位。 (4) 本设备主镀膜室需具有8个靶枪位置。 (5) 样品镀膜 (略) 完全程序控制，也具有手动操作模式。 (6) 本设备需有 * 路独立气路设计。 (7) 本设备需具有冷却水系统，保证设备可长时间连续工作。；	1, * , * . *	* 年 * 月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。

(略)

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