东南大学2021年7月政府采购意向-无掩膜激光直写光刻机-最小线宽小于2um最小特征尺寸不高于15umCD均匀性20

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东南大学2021年7月政府采购意向-无掩膜激光直写光刻机-最小线宽小于2um最小特征尺寸不高于15umCD均匀性20


无掩膜激光直写光刻机
(略) 在采购意向: (略) * 年7月政府采购意向
采购单位: (略)
采购项目名称:无掩膜激光直写光刻机
预算金额: * . 点击查看>> 万元(人民币)
采购品目:
A * 其他不另分类的物品
采购需求概况:
最小线宽小于2um最小特征尺寸不高于1.5umCD均匀性: * nm边缘粗糙度: * 缝合: * 第 * 层对齐: * 背面对齐: * 每个模块曝光时间:2.6分钟( * x * mm2 , * mJ/cm2, * nm波长)最大写入速度( * nm激光): * mm2/min光源:激光波长 * nm和 * nm的 (略) 命大功率激光 * 极管最大基材尺寸: * × * mm2基板厚度:0.1- * mm温度稳定性:±0.1℃
预计采购时间: 点击查看>>
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排, (略) 和采购文件为准。


无掩膜激光直写光刻机
(略) 在采购意向: (略) * 年7月政府采购意向
采购单位: (略)
采购项目名称:无掩膜激光直写光刻机
预算金额: * . 点击查看>> 万元(人民币)
采购品目:
A * 其他不另分类的物品
采购需求概况:
最小线宽小于2um最小特征尺寸不高于1.5umCD均匀性: * nm边缘粗糙度: * 缝合: * 第 * 层对齐: * 背面对齐: * 每个模块曝光时间:2.6分钟( * x * mm2 , * mJ/cm2, * nm波长)最大写入速度( * nm激光): * mm2/min光源:激光波长 * nm和 * nm的 (略) 命大功率激光 * 极管最大基材尺寸: * × * mm2基板厚度:0.1- * mm温度稳定性:±0.1℃
预计采购时间: 点击查看>>
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本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排, (略) 和采购文件为准。

    
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