南京大学2021年7月政府采购意向-微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）系统-南京大学拟采购微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）系统一套
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南京大学2021年7月政府采购意向-微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）系统-南京大学拟采购微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）系统一套
| 微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 年7月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 真空应用设备 |
| 采购需求概况： | (略) 拟采购微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）系统 * 套，需配备样品进样室。具体参数要求如下：（1）真空室：主反应腔极限真空度优于1e-7 Torr；样品进样室极限真空度优于1e-6 Torr。（2）微波源：工作频率： * MHz；输出最大功率：6 kW；工作模式：TM * 模式放电。（3）基片台：带加热功能 点击查看>> 度；温度均匀性：径向温度差小于 * 度；可沉积面积大于等于 * 毫米。（4）进气系统： 8 路MFC控制器： 1SLM(2个)、 * SCCM(2个)、 * SCCM(4个)。（5）真空获得：分子泵抽速 * L/s；机械泵抽速 9L/s；配干泵用于材料生长。（6）采用PLC控制技术实现MPCVD生长功能的触摸屏操作控制，实现样品进样、反应室压力、微波功率与生长温度等的自动控制。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
| 微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 年7月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 真空应用设备 |
| 采购需求概况： | (略) 拟采购微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）系统 * 套，需配备样品进样室。具体参数要求如下：（1）真空室：主反应腔极限真空度优于1e-7 Torr；样品进样室极限真空度优于1e-6 Torr。（2）微波源：工作频率： * MHz；输出最大功率：6 kW；工作模式：TM * 模式放电。（3）基片台：带加热功能 点击查看>> 度；温度均匀性：径向温度差小于 * 度；可沉积面积大于等于 * 毫米。（4）进气系统： 8 路MFC控制器： 1SLM(2个)、 * SCCM(2个)、 * SCCM(4个)。（5）真空获得：分子泵抽速 * L/s；机械泵抽速 9L/s；配干泵用于材料生长。（6）采用PLC控制技术实现MPCVD生长功能的触摸屏操作控制，实现样品进样、反应室压力、微波功率与生长温度等的自动控制。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
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