-基于SiC材料感应耦合等离子体刻蚀机招标预告
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-基于SiC材料感应耦合等离子体刻蚀机招标预告
| 基于SiC材料感应耦合等离子体刻蚀机 | |
| (略) 在采购意向： | 中 (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中 (略) |
| 采购项目名称： | 基于SiC材料感应耦合等离子体刻蚀机 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： |
A 点击查看>> 其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况： |
主要用于量子精密测量、量子通信、量子计算等研究领域的碳化硅微纳米结构刻蚀。1. 设备需配备Source RF和Bias RF 2个RF射频源系统，射频自动匹配时间≤3s，其中Source RF 功率≥3kW，且能在功率等于 * W时，连续工作3小时以上；2. 工艺腔室适用于碳化硅、氧化硅、铌酸锂等材料的长时间稳定刻蚀；3. 下电极温度范围：- * ~ * ℃；5. 最大样品尺寸：6inch；6. 工艺腔体采用防腐蚀分子泵，抽速不小于 * l/s；7. 刻蚀均匀性优于5%"。不面向中小企业采购。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
| 基于SiC材料感应耦合等离子体刻蚀机 | |
| (略) 在采购意向： | 中 (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中 (略) |
| 采购项目名称： | 基于SiC材料感应耦合等离子体刻蚀机 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： |
A 点击查看>> 其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况： |
主要用于量子精密测量、量子通信、量子计算等研究领域的碳化硅微纳米结构刻蚀。1. 设备需配备Source RF和Bias RF 2个RF射频源系统，射频自动匹配时间≤3s，其中Source RF 功率≥3kW，且能在功率等于 * W时，连续工作3小时以上；2. 工艺腔室适用于碳化硅、氧化硅、铌酸锂等材料的长时间稳定刻蚀；3. 下电极温度范围：- * ~ * ℃；5. 最大样品尺寸：6inch；6. 工艺腔体采用防腐蚀分子泵，抽速不小于 * l/s；7. 刻蚀均匀性优于5%"。不面向中小企业采购。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
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