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粗糙度仪主要功能：（1）粗糙度测试功能下测量长度: ≥ * mm立柱≥ * m，测针系统垂直测量范围：≥ * um( 标准单倍测针)，通过加长测针配置，范围不小于 * um，直线度误差: ≤0.4/ * mm，优于ISO标准1级精度(≤2%)，水平方向分辨率≤ * nm ，Rz 残值：≤ * n，Vt=0.1mm/s：（2）轮廓度测试功能下测量长度: ≥ * mm立柱≥ * m，测针系统垂直测量范围：≥ * mm，测量速度：0.5mm/s- * mm/s，定位速度：0. * mm/s to * mm/s，直线度误差: ≤0.4/ * mm，系统分辨率：≤ * nm，Rz 残值：≤ * nm，Vt=0.1mm/s，圆弧测量误差：R ≤ * mm时≤2 μm ， * mm < R ≤ * mm时≤0.4 + R/6) μm，R > * mm时≤(-3 + R/5) μm，X方向测量不确定度：≤± (0.5 + l/ * ) μm；（3）配备电动立柱；高度≥ * mm，立柱为CNC控制，可实现CNC编程自动定位；（4）配备用于测孔径在4.5mm以上的孔的粗糙度测针1根，满足测量 * mm以上深度槽的粗糙度测针1根，可测深度≥ * mm的孔的轮廓测臂 * 根，有效测量长度≥ * mm轮廓测针 * 根， * 根可测φ7mm，深 * mm以上的孔的轮廓测臂及测针；（5）配备粗糙度测试和校准标准器 * 套（带校准证书），轮廓测试和校准标准器 * 套（带校准证书）；（6）计算机主机 * 台，配 (略) 机器配备软件。影像仪主要功能：（1）仪器测量范围：x轴≥ * mm，y轴≥ * mm，z轴≥ * mm；（2）光学测量精度(μm)，Ex,Ey≤1.6+L/ * ，Exy= 1.8+L/ * ，L 单位为mm，测量精度依据VDI/VDE * -6标准 或ISO * 0-7；（3）配备光学变焦系统，变焦比例≥6.5；（4）配备测量软件 * 套；（4）计算机主机 * 台，配 (略) 机器配备软件。

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粗糙度仪主要功能：（1）粗糙度测试功能下测量长度: ≥ * mm立柱≥ * m，测针系统垂直测量范围：≥ * um( 标准单倍测针)，通过加长测针配置，范围不小于 * um，直线度误差: ≤0.4/ * mm，优于ISO标准1级精度(≤2%)，水平方向分辨率≤ * nm ，Rz 残值：≤ * n，Vt=0.1mm/s：（2）轮廓度测试功能下测量长度: ≥ * mm立柱≥ * m，测针系统垂直测量范围：≥ * mm，测量速度：0.5mm/s- * mm/s，定位速度：0. * mm/s to * mm/s，直线度误差: ≤0.4/ * mm，系统分辨率：≤ * nm，Rz 残值：≤ * nm，Vt=0.1mm/s，圆弧测量误差：R ≤ * mm时≤2 μm ， * mm < R ≤ * mm时≤0.4 + R/6) μm，R > * mm时≤(-3 + R/5) μm，X方向测量不确定度：≤± (0.5 + l/ * ) μm；（3）配备电动立柱；高度≥ * mm，立柱为CNC控制，可实现CNC编程自动定位；（4）配备用于测孔径在4.5mm以上的孔的粗糙度测针1根，满足测量 * mm以上深度槽的粗糙度测针1根，可测深度≥ * mm的孔的轮廓测臂 * 根，有效测量长度≥ * mm轮廓测针 * 根， * 根可测φ7mm，深 * mm以上的孔的轮廓测臂及测针；（5）配备粗糙度测试和校准标准器 * 套（带校准证书），轮廓测试和校准标准器 * 套（带校准证书）；（6）计算机主机 * 台，配 (略) 机器配备软件。影像仪主要功能：（1）仪器测量范围：x轴≥ * mm，y轴≥ * mm，z轴≥ * mm；（2）光学测量精度(μm)，Ex,Ey≤1.6+L/ * ，Exy= 1.8+L/ * ，L 单位为mm，测量精度依据VDI/VDE * -6标准 或ISO * 0-7；（3）配备光学变焦系统，变焦比例≥6.5；（4）配备测量软件 * 套；（4）计算机主机 * 台，配 (略) 机器配备软件。