原子层沉积系统招标预告
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原子层沉积系统招标预告
| 原子层沉积系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 原子层沉积系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 半导体器件参数测量仪 |
| 采购需求概况： | "设备配置可以满足以下薄膜材料的制备要求：HfOx、AlOx、TaOx、ZrOx等薄膜材料。工作条件及总体要求：1.适应于标准的实验室环境条件，对实验室环境条件无特殊要求和限制。2.适于供电电源 * VAC（± * %）， * Hz， * 相 * 线制（ * 相+地线+中性线）。3.配置符合中国有关标准要求的单元插头，如果没有这样的插头，则需提供适当的转接插座。4.要求可加工的基底的最大直径为 * mm圆形基底：单片加工模式。 * 年3月到货，现场调试时间不小于 * 周，验收完成以后保修期3年。" |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
| 原子层沉积系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 原子层沉积系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 半导体器件参数测量仪 |
| 采购需求概况： | "设备配置可以满足以下薄膜材料的制备要求：HfOx、AlOx、TaOx、ZrOx等薄膜材料。工作条件及总体要求：1.适应于标准的实验室环境条件，对实验室环境条件无特殊要求和限制。2.适于供电电源 * VAC（± * %）， * Hz， * 相 * 线制（ * 相+地线+中性线）。3.配置符合中国有关标准要求的单元插头，如果没有这样的插头，则需提供适当的转接插座。4.要求可加工的基底的最大直径为 * mm圆形基底：单片加工模式。 * 年3月到货，现场调试时间不小于 * 周，验收完成以后保修期3年。" |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
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