中国科学院上海光学精密机械研究所2021年7至12月政府采购意向-LPP光刻光源收集镜多层膜沉积平台建设与关键技术研究-超高真空EUV薄膜沉积装置，1台套，用于高性能EUV薄膜的研-采招网

中国科学院上海光学精密机械研究所2021年7至12月政府采购意向-LPP光刻光源收集镜多层膜沉积平台建设与关键技术研究-超高真空EUV薄膜沉积装置，1台套，用于高性能EUV薄膜的研

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LPP光刻光源收集镜多层膜沉积平台建设与关键技术研究
(略) 在采购意向：	(略) (略) 光学精 (略) * 月政府采购意向
采购单位：	(略) (略) 光学精 (略)
采购项目名称：	LPP光刻光源收集镜多层膜沉积平台建设与关键技术研究
预算金额：	* . 点击查看>> 万元(人民币)
采购品目：	物理光学仪器
采购需求概况：	超高真空EUV薄膜沉积装置，1台套，用于高性能EUV薄膜的研制。
预计采购时间：	点击查看>>
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。

LPP光刻光源收集镜多层膜沉积平台建设与关键技术研究
(略) 在采购意向：	(略) (略) 光学精 (略) * 月政府采购意向
采购单位：	(略) (略) 光学精 (略)
采购项目名称：	LPP光刻光源收集镜多层膜沉积平台建设与关键技术研究
预算金额：	* . 点击查看>> 万元(人民币)
采购品目：	物理光学仪器
采购需求概况：	超高真空EUV薄膜沉积装置，1台套，用于高性能EUV薄膜的研制。
预计采购时间：	点击查看>>
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。

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