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基于探针测试系统和样品之间的相互作用，表征微观形貌；此外，集成倒置显微镜，高度兼容 (略) ，开展力、光、电、相变、摩 (略) 耦合研究。 核心技术包括：1. 高性能控制器，高性 (略) 耦合测试系统控制器要求具备以下性能：内建高精度锁相放大器；至少两个高速 * 位模数转换器，频率≥ * MHz；至少 * 个中速模数转换器，频率≥0.8MHz；至少 * 组 * 位数模转换器，频率 * Hz；至少 * 组高速 * 位数模转换器，频率≥ * MHz；2. 高性能扫描器：XY扫描器范围≥ * μm× * μm；Z扫描器范围≥ * μm；2个以上扫描轴上都带有独立的闭环传感器，XY轴闭环传感器噪音小于 * pm，Z轴闭环噪音小于 * pm RMS。低相干性激光光源，避免与光学探测系统联用时有相互干扰，激光波长≥ * nm。3. 检测系统：光电探测器采集带宽≥8MHz，光学系统噪音<2pm RMS (0.1Hz到1kHz带宽)；热噪声方法微悬臂校准频率上限高致≥3. * MHz；

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基于探针测试系统和样品之间的相互作用，表征微观形貌；此外，集成倒置显微镜，高度兼容 (略) ，开展力、光、电、相变、摩 (略) 耦合研究。 核心技术包括：1. 高性能控制器，高性 (略) 耦合测试系统控制器要求具备以下性能：内建高精度锁相放大器；至少两个高速 * 位模数转换器，频率≥ * MHz；至少 * 个中速模数转换器，频率≥0.8MHz；至少 * 组 * 位数模转换器，频率 * Hz；至少 * 组高速 * 位数模转换器，频率≥ * MHz；2. 高性能扫描器：XY扫描器范围≥ * μm× * μm；Z扫描器范围≥ * μm；2个以上扫描轴上都带有独立的闭环传感器，XY轴闭环传感器噪音小于 * pm，Z轴闭环噪音小于 * pm RMS。低相干性激光光源，避免与光学探测系统联用时有相互干扰，激光波长≥ * nm。3. 检测系统：光电探测器采集带宽≥8MHz，光学系统噪音<2pm RMS (0.1Hz到1kHz带宽)；热噪声方法微悬臂校准频率上限高致≥3. * MHz；