北京理工大学2021年8至9月政府采购意向-北京理工大学微纳加工中心电子束蒸发镀膜机采购项目-电子束蒸发仪，1台；真空蒸镀腔室尺寸≤500mm×500mm
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北京理工大学2021年8至9月政府采购意向-北京理工大学微纳加工中心电子束蒸发镀膜机采购项目-电子束蒸发仪，1台；真空蒸镀腔室尺寸≤500mm×500mm
| (略) (略) 电子束蒸发镀膜机采购项目 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | (略) (略) 电子束蒸发镀膜机采购项目 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 电子束蒸发仪，1台；真空蒸镀腔室尺寸≤ * mm× * mm× * mm，腔 (略) 理，带有1套可拆卸防污隔离墙；可对接手套箱；镀膜控制软件，带有手动和自动两种操作模式，膜厚不均匀性≤±5%，镀膜速率的理论精度可达0. * ？ /s，膜厚厚度分辨率可达0. * ？，膜厚精度可达 ±5%；冷凝泵，抽速不低于 * l/s，带氦压缩机， * 英尺长氦气管道；干泵，抽速不低于 * cfm，腔室洁净、干燥环境下，极限真空度< 9E-8 Torr；6× * cc电子束源，6KW固态电源，带动态矫正功能以提高膜厚均匀性，带有扫描模式；1套离子源，带有1个气体控制质量流量器，自动控制模式；双晶检测探头，带水冷功能，检测精度不低于0. * ？；水冷旋转样品台，可装载 * mm× * mm的样片，兼容小尺寸样片，转速0- * RPM连续可调，带有升降功能；配有蒸发源挡板；产品验收后要求质保1年。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
| (略) (略) 电子束蒸发镀膜机采购项目 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | (略) (略) 电子束蒸发镀膜机采购项目 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 电子束蒸发仪，1台；真空蒸镀腔室尺寸≤ * mm× * mm× * mm，腔 (略) 理，带有1套可拆卸防污隔离墙；可对接手套箱；镀膜控制软件，带有手动和自动两种操作模式，膜厚不均匀性≤±5%，镀膜速率的理论精度可达0. * ？ /s，膜厚厚度分辨率可达0. * ？，膜厚精度可达 ±5%；冷凝泵，抽速不低于 * l/s，带氦压缩机， * 英尺长氦气管道；干泵，抽速不低于 * cfm，腔室洁净、干燥环境下，极限真空度< 9E-8 Torr；6× * cc电子束源，6KW固态电源，带动态矫正功能以提高膜厚均匀性，带有扫描模式；1套离子源，带有1个气体控制质量流量器，自动控制模式；双晶检测探头，带水冷功能，检测精度不低于0. * ？；水冷旋转样品台，可装载 * mm× * mm的样片，兼容小尺寸样片，转速0- * RPM连续可调，带有升降功能；配有蒸发源挡板；产品验收后要求质保1年。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
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