广西大学2021年8月至9月政府采购意向-高压批量气体净化系统
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广西大学2021年8月至9月政府采购意向-高压批量气体净化系统
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（万元） | 预计采购时间（填写到月） | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 高压批量气体净化系统 | 高压批量气体净化系统，可处理气体种类：氙气、氖气、 * 氧化碳等单独气体或混合气体。设备采用即插即取的使用模式，最大流量 * l/min,除去其中混有的水和氧，使其浓度降至<1ppm。系统 (略) 模式，可在 * 路故障时仍 (略) | * | * 年 * 月 | 1套 |
| 2 | 镀膜机 | (1)腔体要求： * × * × * mm，前后两个开门，腔门密闭性能好，并配有玻璃观察窗与防污挡板；两门均可单独打开，前门采用滑轨式设计，与手套箱相连；侧面具有真空系统接口法兰。 (2)★真空系统：采用国际知名品牌高性能泵组结构，分子泵抽速不小于 * L/S，机械泵抽速抽速不小于4L/S，半小时内达到工作要求4× * -4Pa；采用高精密全量程真空计，量程可从大气压至 * -6Pa，腔体的真空极限优于8× * -5帕。 (3)★基片架：基片架可放置 * 片尺寸不小于 * × * mm的基片，在真空条件下，转换掩膜板并实现零间隙掩模接触；或放置 * 片尺寸不小于 * × * mm的基片，在不同情况下可交替使用。衬底可旋转，转速0- * RPM可调；基片盘下方配挡板，在预蒸发时不污染基片。 (4)★蒸发源及电源：配6组有机蒸发源和3组金属蒸发源，其中有机蒸发源温度最高可到 * oC，金属蒸发源最大电流可达到 * A；采用高性能有机蒸发电源3套和金属蒸发电源1套，每组蒸发源配挡板，触摸屏上控制开启。 (5)★膜厚探测：采用高性能膜厚探测系统，实现4路同时显示，实现多源共蒸发；可精确测量膜厚，精度0. * 埃； (6)控制方式： (略) 件集成于设备机架中，采用触摸屏控制 ，并采用人机 (略) 界面中文操控系统。 (7)保护措施：对冷却水循环系统检测保护，温度检测保护，真空度检测保护，对 (略) 缺水、欠压、过压过流、断路等异常情况报警并采取有效保护措施。 | * | * 年 * 月 | 1台 |
| 3 | 对面两工位手套箱 | (1) * mm× * mm× * mm单工位手套箱，连接集成有1套净化系统，PLC控制及触摸屏操作，真空泵，支架，封闭的箱体，带有倾斜的操作面和可拆卸的安全玻璃前窗. 在标准状况下，即 * C恒温， * 个标准大气压， * . * %的惰性气源，水氧指标小于1 ppm。 (2)手套口铝合金。 (3)循环能力：集成风机流量≥ * m3/h，加装变频控制。 ★加大有机溶剂吸附器，直径 * ，高度 * ，材料：3mm厚的 * 不锈钢，填充约9KG高效吸附材料，与主循环管道相连，循环气体可首先通过吸附器，吸附有机气体，PLC气动角阀控制，抽真空，可快速方便更换吸附材料，并不破坏高纯气氛。 (4)净化系统，净化材料可再生，且再生过程自动控制，自动除水除氧功能。 (5)★气体控制阀：采用不锈钢材质的电磁集成阀座， * 个阀集成控制，提供不锈钢集成阀座图片。 (6)★检测系统：水分析仪：测量范围：0～ * ppm，水探头采用P2O5传感器，可以通过清洗再生程序恢复初始状态，可重复使用，避免了 * 次污染即报废的问题。氧分析仪：检测范围：0- * ppm，采用ZrO2传感器，不得采用燃料电池，ZrO2传感器避免了燃料电池（电化学电池）寿命短，不能暴露在高氧中的问题。 | * | * 年 * 月 | 1台 |
| 4 | 对面 * 工位手套箱 | (1)手套箱尺寸 * mm× * mm× * mm对面， * 工位操作，连接集成有1套净化系统，PLC控制及触摸屏操作，真空泵，支架，封闭的箱体，带有倾斜的操作面和可拆卸的安全玻璃前窗. 在标准状况下，即 * C恒温， * 个标准大气压， * . * %的惰性气源，水氧指标小于1 ppm。 (2)手套口铝合金。 (3)循环能力：集成风机流量≥ * m3/h，加装变频控制。 (4)★加大有机溶剂吸附器，填充高效活性炭9KG，PLC气动角阀控制，更换时不影响手套箱内气氛 (5)净化系统，净化材料可再生，且再生过程自动控制，自动除水除氧功能。 (6)★气体控制阀：采用不锈钢材质的电磁集成阀座， * 个阀集成控制，提供不锈钢集成阀座图片。 (7)★检测系统：水分析仪：测量范围：0～ * ppm，水探头采用P2O5传感器，可以通过清洗再生程序恢复初始状态，可重复使用，避免了 * 次污染即报废的问题。氧分析仪：检测范围：0- * ppm，采用ZrO2传感器，不得采用燃料电池，ZrO2传感器避免了燃料电池（电化学电池）寿命短，不能暴露在高氧中的问题。 | * | * 年 * 月 | 1台 |
| 5 | 1.5工位手套箱 | (1)手套箱尺寸 * mm× * mm× * mm，1.5工位， 单面操作，连接集成有1套净化系统，PLC控制及触摸屏操作，真空泵，支架，封闭的箱体，带有倾斜的操作面和可拆卸的安全玻璃前窗. 在标准状况下，即 * C恒温， * 个标准大气压， * . * %的惰性气源，水氧指标小于1 ppm。 (2)手套口铝合金。 (3)循环能力：集成风机流量≥ * m3/h，加装变频控制。 (4)★加大有机溶剂吸附器，填充高效活性炭9KG，PLC气动角阀控制，更换时不影响手套箱内气氛 (5)净化系统，净化材料可再生，且再生过程自动控制，自动除水除氧功能。 (6)★气体控制阀：采用不锈钢材质的电磁集成阀座， * 个阀集成控制，提供不锈钢集成阀座图片。 (7)★检测系统：水分析仪：测量范围：0～ * ppm，水探头采用P2O5传感器，可以通过清洗再生程序恢复初始状态，可重复使用，避免了 * 次污染即报废的问题。氧分析仪：检测范围：0- * ppm，采用ZrO2传感器，不得采用燃料电池，ZrO2传感器避免了燃料电池（电化学电池）寿命短，不能暴露在高氧中的问题。 | * | * 年 * 月 | 1台 |
| 6 | 单工位手套箱 | (1)单工位，单面操作，连接集成有1套净化系统，PLC控制及触摸屏操作，真空泵，支架，封闭的箱体，带有倾斜的操作面和可拆卸的安全玻璃前窗. 在标准状况下，即 * C恒温， * 个标准大气压， * . * %的惰性气源，水氧指标小于1 ppm。 (2)手套口铝合金。 (3)循环能力：集成风机流量≥ * m3/h，加装变频控制。 (4)★加大有机溶剂吸附器，填充高效活性炭9KG，PLC气动角阀控制，更换时不影响手套箱内气氛 (5)净化系统，净化材料可再生，且再生过程自动控制，自动除水除氧功能。 (6)★气体控制阀：采用不锈钢材质的电磁集成阀座， * 个阀集成控制，提供不锈钢集成阀座图片。 (7)★检测系统：水分析仪：测量范围：0～ * ppm，水探头采用P2O5传感器，可以通过清洗再生程序恢复初始状态，可重复使用，避免了 * 次污染即报废的问题。氧分析仪：检测范围：0- * ppm，采用ZrO2传感器，不得采用燃料电池，ZrO2传感器避免了燃料电池（电化学电池）寿命短，不能暴露在高氧中的问题。 | * .5 | * 年 * 月 | 1台 |
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（万元） | 预计采购时间（填写到月） | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 高压批量气体净化系统 | 高压批量气体净化系统，可处理气体种类：氙气、氖气、 * 氧化碳等单独气体或混合气体。设备采用即插即取的使用模式，最大流量 * l/min,除去其中混有的水和氧，使其浓度降至<1ppm。系统 (略) 模式，可在 * 路故障时仍 (略) | * | * 年 * 月 | 1套 |
| 2 | 镀膜机 | (1)腔体要求： * × * × * mm，前后两个开门，腔门密闭性能好，并配有玻璃观察窗与防污挡板；两门均可单独打开，前门采用滑轨式设计，与手套箱相连；侧面具有真空系统接口法兰。 (2)★真空系统：采用国际知名品牌高性能泵组结构，分子泵抽速不小于 * L/S，机械泵抽速抽速不小于4L/S，半小时内达到工作要求4× * -4Pa；采用高精密全量程真空计，量程可从大气压至 * -6Pa，腔体的真空极限优于8× * -5帕。 (3)★基片架：基片架可放置 * 片尺寸不小于 * × * mm的基片，在真空条件下，转换掩膜板并实现零间隙掩模接触；或放置 * 片尺寸不小于 * × * mm的基片，在不同情况下可交替使用。衬底可旋转，转速0- * RPM可调；基片盘下方配挡板，在预蒸发时不污染基片。 (4)★蒸发源及电源：配6组有机蒸发源和3组金属蒸发源，其中有机蒸发源温度最高可到 * oC，金属蒸发源最大电流可达到 * A；采用高性能有机蒸发电源3套和金属蒸发电源1套，每组蒸发源配挡板，触摸屏上控制开启。 (5)★膜厚探测：采用高性能膜厚探测系统，实现4路同时显示，实现多源共蒸发；可精确测量膜厚，精度0. * 埃； (6)控制方式： (略) 件集成于设备机架中，采用触摸屏控制 ，并采用人机 (略) 界面中文操控系统。 (7)保护措施：对冷却水循环系统检测保护，温度检测保护，真空度检测保护，对 (略) 缺水、欠压、过压过流、断路等异常情况报警并采取有效保护措施。 | * | * 年 * 月 | 1台 |
| 3 | 对面两工位手套箱 | (1) * mm× * mm× * mm单工位手套箱，连接集成有1套净化系统，PLC控制及触摸屏操作，真空泵，支架，封闭的箱体，带有倾斜的操作面和可拆卸的安全玻璃前窗. 在标准状况下，即 * C恒温， * 个标准大气压， * . * %的惰性气源，水氧指标小于1 ppm。 (2)手套口铝合金。 (3)循环能力：集成风机流量≥ * m3/h，加装变频控制。 ★加大有机溶剂吸附器，直径 * ，高度 * ，材料：3mm厚的 * 不锈钢，填充约9KG高效吸附材料，与主循环管道相连，循环气体可首先通过吸附器，吸附有机气体，PLC气动角阀控制，抽真空，可快速方便更换吸附材料，并不破坏高纯气氛。 (4)净化系统，净化材料可再生，且再生过程自动控制，自动除水除氧功能。 (5)★气体控制阀：采用不锈钢材质的电磁集成阀座， * 个阀集成控制，提供不锈钢集成阀座图片。 (6)★检测系统：水分析仪：测量范围：0～ * ppm，水探头采用P2O5传感器，可以通过清洗再生程序恢复初始状态，可重复使用，避免了 * 次污染即报废的问题。氧分析仪：检测范围：0- * ppm，采用ZrO2传感器，不得采用燃料电池，ZrO2传感器避免了燃料电池（电化学电池）寿命短，不能暴露在高氧中的问题。 | * | * 年 * 月 | 1台 |
| 4 | 对面 * 工位手套箱 | (1)手套箱尺寸 * mm× * mm× * mm对面， * 工位操作，连接集成有1套净化系统，PLC控制及触摸屏操作，真空泵，支架，封闭的箱体，带有倾斜的操作面和可拆卸的安全玻璃前窗. 在标准状况下，即 * C恒温， * 个标准大气压， * . * %的惰性气源，水氧指标小于1 ppm。 (2)手套口铝合金。 (3)循环能力：集成风机流量≥ * m3/h，加装变频控制。 (4)★加大有机溶剂吸附器，填充高效活性炭9KG，PLC气动角阀控制，更换时不影响手套箱内气氛 (5)净化系统，净化材料可再生，且再生过程自动控制，自动除水除氧功能。 (6)★气体控制阀：采用不锈钢材质的电磁集成阀座， * 个阀集成控制，提供不锈钢集成阀座图片。 (7)★检测系统：水分析仪：测量范围：0～ * ppm，水探头采用P2O5传感器，可以通过清洗再生程序恢复初始状态，可重复使用，避免了 * 次污染即报废的问题。氧分析仪：检测范围：0- * ppm，采用ZrO2传感器，不得采用燃料电池，ZrO2传感器避免了燃料电池（电化学电池）寿命短，不能暴露在高氧中的问题。 | * | * 年 * 月 | 1台 |
| 5 | 1.5工位手套箱 | (1)手套箱尺寸 * mm× * mm× * mm，1.5工位， 单面操作，连接集成有1套净化系统，PLC控制及触摸屏操作，真空泵，支架，封闭的箱体，带有倾斜的操作面和可拆卸的安全玻璃前窗. 在标准状况下，即 * C恒温， * 个标准大气压， * . * %的惰性气源，水氧指标小于1 ppm。 (2)手套口铝合金。 (3)循环能力：集成风机流量≥ * m3/h，加装变频控制。 (4)★加大有机溶剂吸附器，填充高效活性炭9KG，PLC气动角阀控制，更换时不影响手套箱内气氛 (5)净化系统，净化材料可再生，且再生过程自动控制，自动除水除氧功能。 (6)★气体控制阀：采用不锈钢材质的电磁集成阀座， * 个阀集成控制，提供不锈钢集成阀座图片。 (7)★检测系统：水分析仪：测量范围：0～ * ppm，水探头采用P2O5传感器，可以通过清洗再生程序恢复初始状态，可重复使用，避免了 * 次污染即报废的问题。氧分析仪：检测范围：0- * ppm，采用ZrO2传感器，不得采用燃料电池，ZrO2传感器避免了燃料电池（电化学电池）寿命短，不能暴露在高氧中的问题。 | * | * 年 * 月 | 1台 |
| 6 | 单工位手套箱 | (1)单工位，单面操作，连接集成有1套净化系统，PLC控制及触摸屏操作，真空泵，支架，封闭的箱体，带有倾斜的操作面和可拆卸的安全玻璃前窗. 在标准状况下，即 * C恒温， * 个标准大气压， * . * %的惰性气源，水氧指标小于1 ppm。 (2)手套口铝合金。 (3)循环能力：集成风机流量≥ * m3/h，加装变频控制。 (4)★加大有机溶剂吸附器，填充高效活性炭9KG，PLC气动角阀控制，更换时不影响手套箱内气氛 (5)净化系统，净化材料可再生，且再生过程自动控制，自动除水除氧功能。 (6)★气体控制阀：采用不锈钢材质的电磁集成阀座， * 个阀集成控制，提供不锈钢集成阀座图片。 (7)★检测系统：水分析仪：测量范围：0～ * ppm，水探头采用P2O5传感器，可以通过清洗再生程序恢复初始状态，可重复使用，避免了 * 次污染即报废的问题。氧分析仪：检测范围：0- * ppm，采用ZrO2传感器，不得采用燃料电池，ZrO2传感器避免了燃料电池（电化学电池）寿命短，不能暴露在高氧中的问题。 | * .5 | * 年 * 月 | 1台 |
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