复旦大学2021年9月政府采购意向-等离子体浸没式离子注入机-用于源/漏超浅结的制备和器件研制，要求具有超低能、高束流离子-采招网

复旦大学2021年9月政府采购意向-等离子体浸没式离子注入机-用于源/漏超浅结的制备和器件研制，要求具有超低能、高束流离子

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复旦大学2021年9月政府采购意向-等离子体浸没式离子注入机-用于源/漏超浅结的制备和器件研制，要求具有超低能、高束流离子

等离子体浸没式离子注入机
(略) 在采购意向：	(略) * 年9月政府采购意向
采购单位：	(略)
采购项目名称：	等离子体浸没式离子注入机
预算金额：	* . 点击查看>> 万元(人民币)
采购品目：	A 点击查看>> 电子工业专用生产设备
采购需求概况：	用于源/漏超浅结的制备和器件研制，要求具有超低能、高束流离子注入功能，本次购置的等离子体浸没式离子注入机以及与之配套的先进集成电路工艺设备，可以满足实验室开展先进微纳电子器件的掺杂工艺需求，精度高，能提高开展高水平科研需求。
预计采购时间：	点击查看>>
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。

等离子体浸没式离子注入机
(略) 在采购意向：	(略) * 年9月政府采购意向
采购单位：	(略)
采购项目名称：	等离子体浸没式离子注入机
预算金额：	* . 点击查看>> 万元(人民币)
采购品目：	A 点击查看>> 电子工业专用生产设备
采购需求概况：	用于源/漏超浅结的制备和器件研制，要求具有超低能、高束流离子注入功能，本次购置的等离子体浸没式离子注入机以及与之配套的先进集成电路工艺设备，可以满足实验室开展先进微纳电子器件的掺杂工艺需求，精度高，能提高开展高水平科研需求。
预计采购时间：	点击查看>>
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。

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