天津大学2021年9至12月政府采购意向-天津大学精仪学院化学气相沉积-该系统可实现4&6英寸硅晶圆的硅外延工艺；生长材料单晶硅（衬
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天津大学2021年9至12月政府采购意向-天津大学精仪学院化学气相沉积-该系统可实现4&6英寸硅晶圆的硅外延工艺；生长材料单晶硅（衬
| (略) (略) 化学气相沉积 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | (略) (略) 化学气相沉积 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况： | 该系统可实现4&6英寸硅晶圆的硅外延工艺；生长材料：单晶硅（衬底：单晶硅）、多晶硅（衬底： * 氧化硅）；厚度≤ * 微米掺杂类型： N型（掺杂元素：磷）；掺杂浓度 点击查看>> /cm3支持选择性外延（单晶硅上生长单晶硅，同时 * 氧化硅上不生长单晶或多晶硅）无滑移线；表面金属含量低于3E * atoms/cm3 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
| (略) (略) 化学气相沉积 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | (略) (略) 化学气相沉积 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况： | 该系统可实现4&6英寸硅晶圆的硅外延工艺；生长材料：单晶硅（衬底：单晶硅）、多晶硅（衬底： * 氧化硅）；厚度≤ * 微米掺杂类型： N型（掺杂元素：磷）；掺杂浓度 点击查看>> /cm3支持选择性外延（单晶硅上生长单晶硅，同时 * 氧化硅上不生长单晶或多晶硅）无滑移线；表面金属含量低于3E * atoms/cm3 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
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