电子束蒸发镀膜系统招标预告
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电子束蒸发镀膜系统招标预告
| 电子束蒸发镀膜系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 电子束蒸发镀膜系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 真空应用设备 |
| 采购需求概况： | 可用于蒸镀半导体工艺中的金属膜真空室极限真空度≤6× * -5Pa；片内均匀性≤±5%，片间均匀性≤±5%，批次间均匀性≤±5%；蒸发速率0.1～ * ？/s（铝），发射电流最大1A，高压稳定性±1%，束流稳定性±2%，抑弧反应时间＜ * ms。 * 年6月到货，现场调试时间不小于 * 周，验收完成以后保修期3年。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
| 电子束蒸发镀膜系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 电子束蒸发镀膜系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 真空应用设备 |
| 采购需求概况： | 可用于蒸镀半导体工艺中的金属膜真空室极限真空度≤6× * -5Pa；片内均匀性≤±5%，片间均匀性≤±5%，批次间均匀性≤±5%；蒸发速率0.1～ * ？/s（铝），发射电流最大1A，高压稳定性±1%，束流稳定性±2%，抑弧反应时间＜ * ms。 * 年6月到货，现场调试时间不小于 * 周，验收完成以后保修期3年。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
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