哈尔滨工业大学2021年10月政府采购意向-915MHz微波等离子体化学气相沉积系统（金刚石生长设备）-一、采购项目名称915MHz微波等离子体化学气相沉积系统（金
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哈尔滨工业大学2021年10月政府采购意向-915MHz微波等离子体化学气相沉积系统（金刚石生长设备）-一、采购项目名称915MHz微波等离子体化学气相沉积系统（金
| * MHz微波等离子体化学气相沉积系统（金刚石生长设备） | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 年 * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | * MHz微波等离子体化学气相沉积系统（金刚石生长设备） |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 其他非金属矿物制品工业专用设备 |
| 采购需求概况： | * 、采购项目名称： * MHz微波等离子体化学气相沉积系统（金刚石生长设备）； * 、参数要求：*1. 工作频率： * MHz± * MHz*2. 输出功率：5kw- * kw连续可调3. 电源形式：开关式电源*4.有效等离子体直径：>6英寸5. 冷却方式：循环水冷并带水流水温监控6. 操作方式：通过设备的触摸屏设置工艺参数和系统控制7. 自动重启功能： * ms内自动重启*8. 微波保护：反射功率大于1kw自动保护9. 开舱方式：电动升降* * 测温方式：双色比色测温精度±1摄氏度 * . 极限真空：< * -5torr * . 满功率上升时间： * s * . 混频模式：支持多频率混合输入 * . 功率模块：功率模块 (略) 注：“*”号技术参数为重要技术参数，必须满足，若 * 条不满足， (略) 理。 * 、数量：1台 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
| * MHz微波等离子体化学气相沉积系统（金刚石生长设备） | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 年 * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | * MHz微波等离子体化学气相沉积系统（金刚石生长设备） |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 其他非金属矿物制品工业专用设备 |
| 采购需求概况： | * 、采购项目名称： * MHz微波等离子体化学气相沉积系统（金刚石生长设备）； * 、参数要求：*1. 工作频率： * MHz± * MHz*2. 输出功率：5kw- * kw连续可调3. 电源形式：开关式电源*4.有效等离子体直径：>6英寸5. 冷却方式：循环水冷并带水流水温监控6. 操作方式：通过设备的触摸屏设置工艺参数和系统控制7. 自动重启功能： * ms内自动重启*8. 微波保护：反射功率大于1kw自动保护9. 开舱方式：电动升降* * 测温方式：双色比色测温精度±1摄氏度 * . 极限真空：< * -5torr * . 满功率上升时间： * s * . 混频模式：支持多频率混合输入 * . 功率模块：功率模块 (略) 注：“*”号技术参数为重要技术参数，必须满足，若 * 条不满足， (略) 理。 * 、数量：1台 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
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