华中科技大学2021年9至10月政府采购意向-柔性纳米级薄膜应力测试仪-主件包含一台薄膜应力测试仪。基于stoney公式；自动测量晶
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华中科技大学2021年9至10月政府采购意向-柔性纳米级薄膜应力测试仪-主件包含一台薄膜应力测试仪。基于stoney公式；自动测量晶
| 柔性纳米级薄膜应力测试仪 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 柔性纳米级薄膜应力测试仪 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况： | 主件包含 * 台薄膜应力测试仪。基于stoney公式；自动测量晶圆形貌曲率和应力分布；应力测试范围5MPa-5GPa；曲率半径测试范围2- * m且重复精度小于1%，样品最大尺寸8inch；样品水 (略) 自动校正，软件适用win * /7附件包含 * 台椭圆偏振光谱仪。光谱 点击查看>> nm；自动变角，精度0. * 度；微光斑 * 微米；测量时间最小0.5s，最大 * s；测量重复性由于0. * nm；软件适配windows，拟合模型多。附件包含 * 台残余气体分析仪 。测量 * amu和 * amu的残余气体；RS * 连接，加热套和电子增倍器附件包含 * 台膜厚检测仪。两路测量通道；分辨率0. * Hz，搭配RS * 接口；0- * 摄氏度内频率稳定性2ppm，提供CF * 法兰接口。供货期5个月内，因免税疫情等不可抗力除外，免费质保期1年 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
| 柔性纳米级薄膜应力测试仪 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 柔性纳米级薄膜应力测试仪 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况： | 主件包含 * 台薄膜应力测试仪。基于stoney公式；自动测量晶圆形貌曲率和应力分布；应力测试范围5MPa-5GPa；曲率半径测试范围2- * m且重复精度小于1%，样品最大尺寸8inch；样品水 (略) 自动校正，软件适用win * /7附件包含 * 台椭圆偏振光谱仪。光谱 点击查看>> nm；自动变角，精度0. * 度；微光斑 * 微米；测量时间最小0.5s，最大 * s；测量重复性由于0. * nm；软件适配windows，拟合模型多。附件包含 * 台残余气体分析仪 。测量 * amu和 * amu的残余气体；RS * 连接，加热套和电子增倍器附件包含 * 台膜厚检测仪。两路测量通道；分辨率0. * Hz，搭配RS * 接口；0- * 摄氏度内频率稳定性2ppm，提供CF * 法兰接口。供货期5个月内，因免税疫情等不可抗力除外，免费质保期1年 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
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