杭州电子科技大学喷胶机2021年9月政府采购意向-喷胶机
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杭州电子科技大学喷胶机2021年9月政府采购意向-喷胶机
杭 (略) 喷胶机 * 年9月政府采购意向
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（元） | 预计采购时间（填写到月） | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 喷胶机 | "采购标的名称：国产喷胶机 规格型号：TDS * 数量：1 (略) 景：用于晶圆等半导体材料表面喷胶工艺生产，主要面向光刻胶成膜生产等应用； 主要性能指标：设备机架，上部：电控系统，外挂人机操作界面（触摸屏）及显示灯和按钮，中部:喷胶工艺模块，下部：供胶系统，化学品供应系统，废气排风系统及设备 (略) 与Utility接口等；控制系统包括：软件操控系统、工控机、电控系统、信号端子排、操作界面、信号塔等，分别安装 (略) 及前面； (略) 包括过滤器，胶量报警系统提示，供应管路等； (略) 包括烘烤载台、喷胶组件、供胶系统、进排风系统等组成，自动喷胶模式：喷胶扫描路线可设定、扫描速度、喷胶流量、喷胶压力、相关时间参数等菜单式设定；烘烤载台：包括旋转加热载片台、工艺Cup组件等；加热载片台：真空吸附加热喷胶； 温控范围：室温~ * ℃，温控精度：0.1℃，便于厚胶膜的成型，吸附真空度：≤- * Kpa，载片台转速范围：0~ * rpm，载片台转动精度：±2rpm；工艺Cup：在喷胶过程中，防止光刻胶飞溅，便于喷胶区域气流控制，材料： PTFE，组合件，易拆卸清洗；喷胶组件：X-Y（Z向可选）双向电缸模组及喷头模组，X-Y双向电缸扫描速度控制：扫描范围： * mm X * mm ，扫描速度： ≤ * mm/s，位置精度： ±0. * mm；喷头模组，喷头工作特性：光刻胶经超声雾化后，载气带动喷洒，喷头超声波频率： * KHz- * KHz，喷头高度：手动调节；供胶系统： 系统组成：胶瓶+胶泵+氮气流量控制阀（MFC）+喷嘴+胶管＋过滤器，过滤器光刻胶过滤精度0.2um；胶泵：电动柱塞泵，供胶量：连续供应型（ (略) 时间，最大供速度0.5ml/sec)，氮气流量控制阀（MFC）：高精度质量流量控制阀；进排风系统 机台上方滤风口进风， (略) 厂务系统EHX排风。 紧缺情况：喷胶机是光刻胶成膜生产的重要设备，实验室开展相关科研工作，进入到实际实验生产阶段，急需 * 台喷胶机，用于晶圆等半导体材料表面喷胶工艺生产。 质量、服务、安全、时限等要求：货 (略) 指定品 (略) 商生产的、完整的、全新的、未使用过的成套成品货物； 售后服务承诺：货物质保期为 * 个月，自货物经 * 方签署验收合格报告之日起算。 * 方应保证货物在质保期内完全符合本协议规定的质量、规格并保持完好的性能。 货期：最晚不迟于收到信用证后 * 个自然日。" | 点击查看>> | * 年 * 月 |
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杭 (略) 喷胶机 * 年9月政府采购意向
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（元） | 预计采购时间（填写到月） | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 喷胶机 | "采购标的名称：国产喷胶机 规格型号：TDS * 数量：1 (略) 景：用于晶圆等半导体材料表面喷胶工艺生产，主要面向光刻胶成膜生产等应用； 主要性能指标：设备机架，上部：电控系统，外挂人机操作界面（触摸屏）及显示灯和按钮，中部:喷胶工艺模块，下部：供胶系统，化学品供应系统，废气排风系统及设备 (略) 与Utility接口等；控制系统包括：软件操控系统、工控机、电控系统、信号端子排、操作界面、信号塔等，分别安装 (略) 及前面； (略) 包括过滤器，胶量报警系统提示，供应管路等； (略) 包括烘烤载台、喷胶组件、供胶系统、进排风系统等组成，自动喷胶模式：喷胶扫描路线可设定、扫描速度、喷胶流量、喷胶压力、相关时间参数等菜单式设定；烘烤载台：包括旋转加热载片台、工艺Cup组件等；加热载片台：真空吸附加热喷胶； 温控范围：室温~ * ℃，温控精度：0.1℃，便于厚胶膜的成型，吸附真空度：≤- * Kpa，载片台转速范围：0~ * rpm，载片台转动精度：±2rpm；工艺Cup：在喷胶过程中，防止光刻胶飞溅，便于喷胶区域气流控制，材料： PTFE，组合件，易拆卸清洗；喷胶组件：X-Y（Z向可选）双向电缸模组及喷头模组，X-Y双向电缸扫描速度控制：扫描范围： * mm X * mm ，扫描速度： ≤ * mm/s，位置精度： ±0. * mm；喷头模组，喷头工作特性：光刻胶经超声雾化后，载气带动喷洒，喷头超声波频率： * KHz- * KHz，喷头高度：手动调节；供胶系统： 系统组成：胶瓶+胶泵+氮气流量控制阀（MFC）+喷嘴+胶管＋过滤器，过滤器光刻胶过滤精度0.2um；胶泵：电动柱塞泵，供胶量：连续供应型（ (略) 时间，最大供速度0.5ml/sec)，氮气流量控制阀（MFC）：高精度质量流量控制阀；进排风系统 机台上方滤风口进风， (略) 厂务系统EHX排风。 紧缺情况：喷胶机是光刻胶成膜生产的重要设备，实验室开展相关科研工作，进入到实际实验生产阶段，急需 * 台喷胶机，用于晶圆等半导体材料表面喷胶工艺生产。 质量、服务、安全、时限等要求：货 (略) 指定品 (略) 商生产的、完整的、全新的、未使用过的成套成品货物； 售后服务承诺：货物质保期为 * 个月，自货物经 * 方签署验收合格报告之日起算。 * 方应保证货物在质保期内完全符合本协议规定的质量、规格并保持完好的性能。 货期：最晚不迟于收到信用证后 * 个自然日。" | 点击查看>> | * 年 * 月 |
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