嘉庚创新实验室2021年1月至1月政府采购意向
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嘉庚创新实验室2021年1月至1月政府采购意向
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《 (略) 关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔 * 〕 * 号）等有关规定，现将（嘉庚创新实验室） * 年 1 （至）1 月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购单位 | 采购项目名称 | 采购品目 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购日期 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 嘉庚创新实验室 | 实时示波器与任意波形发生器 | [A 点击查看>> ]电子工业专用生产设备 | 实时示波器设备主要用于测量氮化镓 Micro-LED器件以及其他光电功能材料器件的高频光电响应，适用频率达到 * GHz,具备4个以上的通道数量，最高采样率达到 * GSa/s,上升下降时间在 * ps以内。任意波形发生器主要用于测量氮化镓 Micro-LED器件以及其他光电功能材料器件的高频光电响应，采样率最高可达到 * GSa/s以上，通道数2个以上，具备可扩展的采样内存空间。 | * .6 | 点击查看>> | 无 |
| 2 | 嘉庚创新实验室 | 智能仿真模拟系统 | [A 点击查看>> ]巨型计算机 | 该系统包括仿真计算集群（含cpu、gpu、大内存胖节点和存储系统等）、机房环境系统（含电源支持系统、循环冷却系统、突发情况应急系统等），主要用于半导体、新能源领域的新型材料与器件的智能开发与设计，提供多尺度、 (略) 计算仿真、数据管理和统计分析的全方位计算支持。 | * | 点击查看>> | 无 |
| 3 | 嘉庚创新实验室 | SiC晶圆缺陷检测设备 | [A 点击查看>> ]电子工业专用生产设备 | 表面缺陷检测设备主要用于SiC外延片表面缺陷检测，适用尺寸2-8寸，颗粒缺陷灵敏度≤0.5μm，具备AOI和PL检测模式，具备自动缺陷分类、统计分布和判别软件功能。 | * | 点击查看>> | 无 |
| 4 | 嘉庚创新实验室 | 步进重复光刻机 | [A 点击查看>> ]电子工业专用生产设备 | 步进重复光刻机设备主要用于LED芯片制造，光刻工艺中的曝光工艺，完成图形从掩膜版到wafer片的转移，要求适用wafer尺寸4-8寸，分辨率≤0. * um，套刻对位精度≤ * nm，焦深≥0.7um，数值孔径为0. * ，具备LSA和FIA两种对位模式，具备全自动上下片及掩膜版管理功能，具有自动调焦调平，具备掩膜版及wafer自动对位对准功能，具备自动步进曝光功能，具备曝光能量可调功能，具备按照软体设置自动完成曝光功能，够做出孔径及线宽为0.5um的圆孔及沟道。 | * | 点击查看>> | 无 |
| 5 | 嘉庚创新实验室 | LED光电参数测试机 | [A 点击查看>> ]半导体器件参数测量仪 | LED光电测试仪设备主要用于LED芯片的光电性能的检测，适用尺寸4-6寸，可量测＜ * um，电极尺寸＜5um的芯粒，具备电测到0.1uA及nw级别精度，具备人体模式和机械模式两种ESD模拟点测， (略) 测试光强分布功能，具备mcd点测功能以及具备电流电压源可便捷更换功能。 | * | 点击查看>> | 无 |
| 6 | 嘉庚创新实验室 | 光学镀膜机 | [A 点击查看>> ]电气物理设备 | 光学镀膜设备主要用于蒸镀8寸以下晶圆多层全介质光学薄膜材料（典型材料如Ta2O5、SiO2、TiO2、HfO2、Al2O3等）的镀膜，以实现产品光学性能。 | * | 点击查看>> | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
嘉庚创新实验室
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为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《 (略) 关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔 * 〕 * 号）等有关规定，现将（嘉庚创新实验室） * 年 1 （至）1 月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购单位 | 采购项目名称 | 采购品目 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购日期 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 嘉庚创新实验室 | 实时示波器与任意波形发生器 | [A 点击查看>> ]电子工业专用生产设备 | 实时示波器设备主要用于测量氮化镓 Micro-LED器件以及其他光电功能材料器件的高频光电响应，适用频率达到 * GHz,具备4个以上的通道数量，最高采样率达到 * GSa/s,上升下降时间在 * ps以内。任意波形发生器主要用于测量氮化镓 Micro-LED器件以及其他光电功能材料器件的高频光电响应，采样率最高可达到 * GSa/s以上，通道数2个以上，具备可扩展的采样内存空间。 | * .6 | 点击查看>> | 无 |
| 2 | 嘉庚创新实验室 | 智能仿真模拟系统 | [A 点击查看>> ]巨型计算机 | 该系统包括仿真计算集群（含cpu、gpu、大内存胖节点和存储系统等）、机房环境系统（含电源支持系统、循环冷却系统、突发情况应急系统等），主要用于半导体、新能源领域的新型材料与器件的智能开发与设计，提供多尺度、 (略) 计算仿真、数据管理和统计分析的全方位计算支持。 | * | 点击查看>> | 无 |
| 3 | 嘉庚创新实验室 | SiC晶圆缺陷检测设备 | [A 点击查看>> ]电子工业专用生产设备 | 表面缺陷检测设备主要用于SiC外延片表面缺陷检测，适用尺寸2-8寸，颗粒缺陷灵敏度≤0.5μm，具备AOI和PL检测模式，具备自动缺陷分类、统计分布和判别软件功能。 | * | 点击查看>> | 无 |
| 4 | 嘉庚创新实验室 | 步进重复光刻机 | [A 点击查看>> ]电子工业专用生产设备 | 步进重复光刻机设备主要用于LED芯片制造，光刻工艺中的曝光工艺，完成图形从掩膜版到wafer片的转移，要求适用wafer尺寸4-8寸，分辨率≤0. * um，套刻对位精度≤ * nm，焦深≥0.7um，数值孔径为0. * ，具备LSA和FIA两种对位模式，具备全自动上下片及掩膜版管理功能，具有自动调焦调平，具备掩膜版及wafer自动对位对准功能，具备自动步进曝光功能，具备曝光能量可调功能，具备按照软体设置自动完成曝光功能，够做出孔径及线宽为0.5um的圆孔及沟道。 | * | 点击查看>> | 无 |
| 5 | 嘉庚创新实验室 | LED光电参数测试机 | [A 点击查看>> ]半导体器件参数测量仪 | LED光电测试仪设备主要用于LED芯片的光电性能的检测，适用尺寸4-6寸，可量测＜ * um，电极尺寸＜5um的芯粒，具备电测到0.1uA及nw级别精度，具备人体模式和机械模式两种ESD模拟点测， (略) 测试光强分布功能，具备mcd点测功能以及具备电流电压源可便捷更换功能。 | * | 点击查看>> | 无 |
| 6 | 嘉庚创新实验室 | 光学镀膜机 | [A 点击查看>> ]电气物理设备 | 光学镀膜设备主要用于蒸镀8寸以下晶圆多层全介质光学薄膜材料（典型材料如Ta2O5、SiO2、TiO2、HfO2、Al2O3等）的镀膜，以实现产品光学性能。 | * | 点击查看>> | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
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