超导器件（7）招标预告-采招网

超导器件（7）招标预告

预告
山东省
发布：2021-10-21

内容

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超导器件（7）招标预告

(略) 量 (略) * 年 * （至） * 月

政府采购意向

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《 (略) 关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔 * 〕 * 号）等有关规定，现将 (略) 量 (略) * 年 * （至） * 月采购意向公开如下：

序号

采购项目名称

采购需求概况

预算金额

（万元）

预计采购时间

（填写到月）

备注

超导器件项目（7）

自动传片对准系统设备1：激光直写自动传片对准系统 1、机械手臂标准臂长:≥ * mm； 2、机械臂采用圆柱坐标，3轴控制； 3、全轴采用2相步进电机、S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运晶圆； 4、手指材质：铝合金 5、吸附方式:真空吸附式，下托式 6、自动传送晶圆尺寸：兼容6英寸、8英寸； 7、自动传送晶圆最大厚度：≥1.2mm 8、配备动作监视器； 9、预对准器支持平边及notch晶圆； * 、重复性精度：≤±0.1mm * 、激光直写晶圆载台的定制更换，兼容机械臂的取放操作。 * 、控制系统：实现与激光直写操作系统的融合，从而完成自动传片、对准、曝光、出片过程的全自动操作，操作过程形成完备的日志记录。 * 、控制通讯方式：RS * C及并口I/O方式 * 、机械臂参数： (略) 到达距离旋转角度(θ轴) 升降(Z轴) * mm * 度 * mm 搬运速度（平均）手臂(R轴) 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴) * mm/sec * 度/sec * mm/sec 搬运速度（最大）手臂(R轴) 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴) * mm/sec * 度/sec * mm/sec (略) 到达距离旋转角度(θ轴) 升降(Z轴) * mm * 度 * mm 搬运速度（平均）手臂(R轴) 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴) * mm/sec * 度/sec * mm/sec 搬运速度（最大）手臂(R轴) 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴) * mm/sec * 度/sec * mm/sec 设备2：直写光刻自动传片对准系统 1、机械手臂标准臂长:≥ * mm； 2、机械臂采用圆柱坐标，3轴控制； 3、全轴采用2相步进电机、S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运晶圆； 4、手指材质：铝合金 5、吸附方式:真空吸附式，下托式 6、自动传送晶圆尺寸：兼容4英寸、6英寸； 7、自动传送晶圆最大厚度：≥1.2mm 8、配备动作监视器； 9、预对准器支持平边及notch晶圆； * 、重复性精度：≤±0.1mm * 、激光直写晶圆载台的定制更换，兼容机械臂的取放操作。 * 、控制系统：实现与激光直写操作系统的融合，从而完成自动传片、对准、曝光、出片过程的全自动操作，操作过程形成完备的日志记录。 * 、控制通讯方式：RS * C及并口I/O方式 * 、机械臂参数： (略) 到达距离旋转角度(θ轴) 升降(Z轴) * mm * 度 * mm 搬运速度（平均）手臂(R轴) 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴) * mm/sec * 度/sec * mm/sec 搬运速度（最大）手臂(R轴) 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴) * mm/sec * 度/sec * mm/sec (略) 到达距离旋转角度(θ轴) 升降(Z轴) * mm * 度 * mm 搬运速度（平均）手臂(R轴) 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴) * mm/sec * 度/sec * mm/sec 搬运速度（最大）手臂(R轴) 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴) * mm/sec * 度/sec * mm/sec" 2. *

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* . *

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。

(略) 量 (略)

* 日