太原理工大学2022年1月至4月政府采购意向-磁控溅射镀膜仪器
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太原理工大学2022年1月至4月政府采购意向-磁控溅射镀膜仪器
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（元） | 预计采购时间（填写到月） | 是否专门面向中小企业采购 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 磁控溅射镀膜仪器 | 1. 采购设备名称：磁控溅射镀膜设备 数量： 1 套。 2. 功能需求：（1）用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜的制备。（2）可连续多层镀膜、也可多靶掺杂共溅射。安装有3支磁控靶（带独立气动挡板）；3. 内配有照明系统 ；配有观察窗；占地尺寸：≤1.2m×1m；4. 采用高精度镀膜检测仪，镀膜精度0.1nm，自动控制镀膜厚度；5. 设备采用进口检漏仪检漏，漏率超过5E- * Pa/l/s；极限真空优于5E-5 Pa；从常压抽到8E－4Pa，时间小于 * 分钟；6. * 英寸的基片范围内薄膜厚度均匀性≤±5％，基片可以加热、冷却；7. 控制系统包括：自动抽真空+自动关机+保护互锁装置+安全急停等，样品台可在线升降调节基板和阴极靶之间距离；8. 3年免费售后服务，终身售后服务 ， (略) 配件 9. 现场安装培训； * . 供货期3个月以内。 | 点击查看>> | * 年 * 月 | 否 | 无 |
| 2 | 办公椅 | 办公椅1把，人体工程学设计。设备质保 * 年。 | * | * 年 * 月 | 否 | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（元） | 预计采购时间（填写到月） | 是否专门面向中小企业采购 | 备注 |
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| 1 | 磁控溅射镀膜仪器 | 1. 采购设备名称：磁控溅射镀膜设备 数量： 1 套。 2. 功能需求：（1）用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜的制备。（2）可连续多层镀膜、也可多靶掺杂共溅射。安装有3支磁控靶（带独立气动挡板）；3. 内配有照明系统 ；配有观察窗；占地尺寸：≤1.2m×1m；4. 采用高精度镀膜检测仪，镀膜精度0.1nm，自动控制镀膜厚度；5. 设备采用进口检漏仪检漏，漏率超过5E- * Pa/l/s；极限真空优于5E-5 Pa；从常压抽到8E－4Pa，时间小于 * 分钟；6. * 英寸的基片范围内薄膜厚度均匀性≤±5％，基片可以加热、冷却；7. 控制系统包括：自动抽真空+自动关机+保护互锁装置+安全急停等，样品台可在线升降调节基板和阴极靶之间距离；8. 3年免费售后服务，终身售后服务 ， (略) 配件 9. 现场安装培训； * . 供货期3个月以内。 | 点击查看>> | * 年 * 月 | 否 | 无 |
| 2 | 办公椅 | 办公椅1把，人体工程学设计。设备质保 * 年。 | * | * 年 * 月 | 否 | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
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