南京理工大学2022年1月政府采购意向-氧化物磁控溅射薄膜沉积系统-1.1腔体尺寸圆形卧式结构；采用优质304不锈钢材质制作；内
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南京理工大学2022年1月政府采购意向-氧化物磁控溅射薄膜沉积系统-1.1腔体尺寸圆形卧式结构；采用优质304不锈钢材质制作；内
| 氧化物磁控溅射薄膜沉积系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 年1月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 氧化物磁控溅射薄膜沉积系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | 其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况： | 1.1腔体尺寸：圆形卧式结构；采用优质 * 不锈钢材质制作；内外表面 (略) 理。1.2极限真空度：≤6.7* * -5 Pa；1.3系统漏率：5* * -7Pa.l/s；1.4静态升压：系统停泵关机后 * 小时后，真空度≤5Pa1.5系统充干燥N2解除真空，短时暴露大气后抽气至9* * -4Pa≤ * min。1.6磁控靶配置：带角度调节Φ3英寸磁控靶3只，角度调节精度：1°，溅射距离调节范围：8- * cm。1.7工位数与样品数量：Φ6英寸样品1片。1.8溅射不均匀性≤±5％（Φ6英寸范围内）1.9样品加热：最高 * ℃；控温精度：1℃；温度均匀性：±1%1. * 样品台旋转：0- * rmp，转速连续可调1. * 工艺气体：Ar，O2/N * . * 电源功率射频： * W，2台，其中1台带有自动切换器 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
| 氧化物磁控溅射薄膜沉积系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 年1月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 氧化物磁控溅射薄膜沉积系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | 其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况： | 1.1腔体尺寸：圆形卧式结构；采用优质 * 不锈钢材质制作；内外表面 (略) 理。1.2极限真空度：≤6.7* * -5 Pa；1.3系统漏率：5* * -7Pa.l/s；1.4静态升压：系统停泵关机后 * 小时后，真空度≤5Pa1.5系统充干燥N2解除真空，短时暴露大气后抽气至9* * -4Pa≤ * min。1.6磁控靶配置：带角度调节Φ3英寸磁控靶3只，角度调节精度：1°，溅射距离调节范围：8- * cm。1.7工位数与样品数量：Φ6英寸样品1片。1.8溅射不均匀性≤±5％（Φ6英寸范围内）1.9样品加热：最高 * ℃；控温精度：1℃；温度均匀性：±1%1. * 样品台旋转：0- * rmp，转速连续可调1. * 工艺气体：Ar，O2/N * . * 电源功率射频： * W，2台，其中1台带有自动切换器 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
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