南京理工大学2022年1月政府采购意向-激光直写曝光机-最小分辨率300nm基板尺寸5*5mm~125mm*125m-采招网

南京理工大学2022年1月政府采购意向-激光直写曝光机-最小分辨率300nm基板尺寸5*5mm~125mm*125m

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南京理工大学2022年1月政府采购意向-激光直写曝光机-最小分辨率300nm基板尺寸5*5mm~125mm*125m

激光直写曝光机
(略) 在采购意向：	(略) * 年1月政府采购意向
采购单位：	(略)
采购项目名称：	激光直写曝光机
预算金额：	* . 点击查看>> 万元(人民币)
采购品目：	其他专用仪器仪表
采购需求概况：	最小分辨率 * nm基板尺寸55mm~ mm* * mm支持基板厚度0~ * mm，正面套刻精度≤ * nm，线宽均匀性≤ * nm，最大曝光面积 * mm* * mm支持多种光刻精度自动切换自动光学聚焦支持数据格式包括DXF, GDSII, TIFF，BMP。
预计采购时间：	点击查看>>
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。

, (略)

激光直写曝光机
(略) 在采购意向：	(略) * 年1月政府采购意向
采购单位：	(略)
采购项目名称：	激光直写曝光机
预算金额：	* . 点击查看>> 万元(人民币)
采购品目：	其他专用仪器仪表
采购需求概况：	最小分辨率 * nm基板尺寸55mm~ mm* * mm支持基板厚度0~ * mm，正面套刻精度≤ * nm，线宽均匀性≤ * nm，最大曝光面积 * mm* * mm支持多种光刻精度自动切换自动光学聚焦支持数据格式包括DXF, GDSII, TIFF，BMP。
预计采购时间：	点击查看>>
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。

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