武汉科技大学2022年01(至)01月政府采购意向-国产磁控溅射/离子镀多功能表面镀膜系统
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武汉科技大学2022年01(至)01月政府采购意向-国产磁控溅射/离子镀多功能表面镀膜系统
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《 (略) 关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔 * 〕 * 号）等有关规定，现 (略) * 年 * (至) * 月政府采购意向公开如下：
序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额 （万元） | 预计采购时间 （填写到月） | 备注 |
1 | 国产磁控溅射/离子镀多功能表面镀膜系统 | 为满足教学、科研及平台建设需要，拟采购国产磁 * 套。该系统耦合了磁控溅射和多弧离子镀等多种技术手段，且可实现多靶共溅射及射频溅射，功能多样；可在各类基体（不锈钢、钛合金、铝合金等）上制备单层及多层金属薄膜、及耐热合金薄膜、硬质薄膜、耐腐蚀薄膜等。需达到以下技术参数：1.★真空腔室：尺寸φ * mm×H * mm，材质 * 不锈钢，双层水冷，立式圆柱形，前开门结构，内表面抛光，外表面喷砂、喷丸、 (略) 理；2.★真空系统：主泵采用分子泵，抽速不小于 * L/s；大气到6.6× * -3pa≤ * min（空载）；极限真空优于6.0× * -5Pa；3. 设备升压率≤0.8Pa/h；设备保压：停泵 * 小时候后，真空≤ * Pa；4.工件架及工件加热：电机驱动6工位公/自转工件架，公转旋转速度0～5RPM,转速可调可控，带定位自转功能，工件架通过不锈钢管状加热器对工件辐射加热，整体加热室温～ * ℃；5. ★镀膜系统： 4套DN * 新型磁过滤多弧靶及4台多弧电源；2套L * mm×W * mm矩形靶及１台直流脉冲电源和１台射频电源；辅助沉积配1台 * KW偏压电源和1套低能量阳极层离子源L * mm；6. ★自动恒压控制系统：薄膜规+电机驱动控制阀+控制软件闭环自动控制；保持镀膜时工艺压力稳定；7.工艺气体：4路高精度质量流量控制器，分别控制工艺气体Ar/N2/CH4/O2；8.水冷系统：配制冷量大于 * KW冷却循环水机；并分别监测每列靶的水温和水压；9.电气控制：采用PLC+工控机程序控制，液晶屏人机操作界面，手/自动 * 体控制方式； * .报警及保护：对泵、溅射源等缺水、过流过压、断路等 (略) (略) 相应保护措施； * .★验收标准:氮铝钛硬度 * - * GPa，结合力 * - * N； * .交付 * 套成熟的工艺技术路线并提供完善的售后服务与维修服务。 | * | (略) 代理机构发布的采购文件为准 | |
2 | 进口3D组织模型打印机 | 为满足研究课题、平台建设及教学需求，拟申请采购3D组织模型打印机1台。 技术要求： 1、打印技术：气动挤出系统 2、智能打印头：可自动识别打印头 3、打印头数量及类型：3个及以上多功能打印头 4、打印及打印床温度可调节 5、平台校准：自动校准 6、自带UV光固化模块 7、打印舱环境可控 8、支持文件格式：STL，G-code | * | (略) 代理机构发布的采购文件为准 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
(略)
* 日
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《 (略) 关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔 * 〕 * 号）等有关规定，现 (略) * 年 * (至) * 月政府采购意向公开如下：
序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额 （万元） | 预计采购时间 （填写到月） | 备注 |
1 | 国产磁控溅射/离子镀多功能表面镀膜系统 | 为满足教学、科研及平台建设需要，拟采购国产磁 * 套。该系统耦合了磁控溅射和多弧离子镀等多种技术手段，且可实现多靶共溅射及射频溅射，功能多样；可在各类基体（不锈钢、钛合金、铝合金等）上制备单层及多层金属薄膜、及耐热合金薄膜、硬质薄膜、耐腐蚀薄膜等。需达到以下技术参数：1.★真空腔室：尺寸φ * mm×H * mm，材质 * 不锈钢，双层水冷，立式圆柱形，前开门结构，内表面抛光，外表面喷砂、喷丸、 (略) 理；2.★真空系统：主泵采用分子泵，抽速不小于 * L/s；大气到6.6× * -3pa≤ * min（空载）；极限真空优于6.0× * -5Pa；3. 设备升压率≤0.8Pa/h；设备保压：停泵 * 小时候后，真空≤ * Pa；4.工件架及工件加热：电机驱动6工位公/自转工件架，公转旋转速度0～5RPM,转速可调可控，带定位自转功能，工件架通过不锈钢管状加热器对工件辐射加热，整体加热室温～ * ℃；5. ★镀膜系统： 4套DN * 新型磁过滤多弧靶及4台多弧电源；2套L * mm×W * mm矩形靶及１台直流脉冲电源和１台射频电源；辅助沉积配1台 * KW偏压电源和1套低能量阳极层离子源L * mm；6. ★自动恒压控制系统：薄膜规+电机驱动控制阀+控制软件闭环自动控制；保持镀膜时工艺压力稳定；7.工艺气体：4路高精度质量流量控制器，分别控制工艺气体Ar/N2/CH4/O2；8.水冷系统：配制冷量大于 * KW冷却循环水机；并分别监测每列靶的水温和水压；9.电气控制：采用PLC+工控机程序控制，液晶屏人机操作界面，手/自动 * 体控制方式； * .报警及保护：对泵、溅射源等缺水、过流过压、断路等 (略) (略) 相应保护措施； * .★验收标准:氮铝钛硬度 * - * GPa，结合力 * - * N； * .交付 * 套成熟的工艺技术路线并提供完善的售后服务与维修服务。 | * | (略) 代理机构发布的采购文件为准 | |
2 | 进口3D组织模型打印机 | 为满足研究课题、平台建设及教学需求，拟申请采购3D组织模型打印机1台。 技术要求： 1、打印技术：气动挤出系统 2、智能打印头：可自动识别打印头 3、打印头数量及类型：3个及以上多功能打印头 4、打印及打印床温度可调节 5、平台校准：自动校准 6、自带UV光固化模块 7、打印舱环境可控 8、支持文件格式：STL，G-code | * | (略) 代理机构发布的采购文件为准 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
(略)
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