重庆大学2022年2月政府采购意向-电子束曝光-蚀刻系统-电子束曝光-刻蚀系统通过PC软件控制电子束的矢量扫描，以实现
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重庆大学2022年2月政府采购意向-电子束曝光-蚀刻系统-电子束曝光-刻蚀系统通过PC软件控制电子束的矢量扫描，以实现
| 电子束曝光-蚀刻系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 年2月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 电子束曝光-蚀刻系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况： | 电子束曝光-刻蚀系统通过PC软件控制电子束的矢量扫描，以实 (略) 需的微纳图形，用于研究半导体技术、光电子技术及MEMS等微结构研发和模型验证。 (略) 发射扫描电子显微镜、图形发生器、数模转换电器和配套刻蚀设备等。具体有主机（ * 轴全对中马达驱动样品台、多功能SEM样品架、电子束束流计、自动光阑系统、无油真空泵系统等）；分割式透镜内低位探测器；透镜内高位 * 次电子探测器；镜筒内 * 次电子探测器；通用ET * 次电子检测器 SED；红外CCD检测器；电子束减速模式；安装在仓室内的样品彩色导航探头；空压机；冷却水机；皮安计；电子束束闸；UPS电源；电制冷能谱仪；电子束曝光系统等 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
| 电子束曝光-蚀刻系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 年2月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 电子束曝光-蚀刻系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况： | 电子束曝光-刻蚀系统通过PC软件控制电子束的矢量扫描，以实 (略) 需的微纳图形，用于研究半导体技术、光电子技术及MEMS等微结构研发和模型验证。 (略) 发射扫描电子显微镜、图形发生器、数模转换电器和配套刻蚀设备等。具体有主机（ * 轴全对中马达驱动样品台、多功能SEM样品架、电子束束流计、自动光阑系统、无油真空泵系统等）；分割式透镜内低位探测器；透镜内高位 * 次电子探测器；镜筒内 * 次电子探测器；通用ET * 次电子检测器 SED；红外CCD检测器；电子束减速模式；安装在仓室内的样品彩色导航探头；空压机；冷却水机；皮安计；电子束束闸；UPS电源；电制冷能谱仪；电子束曝光系统等 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
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