中国科学院长春应用化学研究所2022年3至6月政府采购意向-高精度激光器件制备仪-蒸发沉积系统采用TDK电源，最高升温温度可达1500℃，电流
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中国科学院长春应用化学研究所2022年3至6月政府采购意向-高精度激光器件制备仪-蒸发沉积系统采用TDK电源，最高升温温度可达1500℃，电流
| 高精度激光器件制备仪 | |
| (略) 在采购意向： | (略) 长春应 (略) * 年3至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 长春应 (略) |
| 采购项目名称： | 高精度激光器件制备仪 |
| 预算金额： | 0. 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> |
| 采购需求概况： | 蒸发沉积系统：采用TDK电源，最高升温温度可达 * ℃，电流驱动加热形式，可精确到0.1A，实现蒸镀速率 0.01 A/S的精度显示，采用InficonSQC- * C 和SQC- * 膜厚仪，膜厚精度误差在正负0.1A/S；真空系统：极限真空度在系统洁净、空置时低于3.5×10-5Pa;从常压到5*10-4pa不超过15min(充氮气保护，从手套箱内操作)；传递系统：内部安装有二自由度机械手，传递片子的同时实现掩膜板的更换；手套箱系统：水、氧保持在<1ppm，箱体泄漏率<0.05vol%/h。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 高精度激光器件制备仪 | |
| (略) 在采购意向： | (略) 长春应 (略) * 年3至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 长春应 (略) |
| 采购项目名称： | 高精度激光器件制备仪 |
| 预算金额： | 0. 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> |
| 采购需求概况： | 蒸发沉积系统：采用TDK电源，最高升温温度可达 * ℃，电流驱动加热形式，可精确到0.1A，实现蒸镀速率 0.01 A/S的精度显示，采用InficonSQC- * C 和SQC- * 膜厚仪，膜厚精度误差在正负0.1A/S；真空系统：极限真空度在系统洁净、空置时低于3.5×10-5Pa;从常压到5*10-4pa不超过15min(充氮气保护，从手套箱内操作)；传递系统：内部安装有二自由度机械手，传递片子的同时实现掩膜板的更换；手套箱系统：水、氧保持在<1ppm，箱体泄漏率<0.05vol%/h。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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