标的名称：超高真空射频等离子体源测试系统

标的数量：1

主要功能或目标：能够提供超高真空（极限真空度能达到10-9 Pa）的实验环境。 2.验证射频电源产生的等离子体在超 (略) 为 3.具备旋转加热台， (略) 加热 4.能够表征射频电源产生的等离子体对衬底产生的相互作用

需满足的要求：1.主腔体极限真空度：≤6.65×10-9 Pa(经烘烤除气后，通液氮12小时后)； 2.除气室的极限真空：8.6×10-8 Pa；(经烘烤除气后)； 3.进样室的极限真空：5×10-6 Pa；(经烘烤除气后)； 4.系统从大气（充入干燥氮气）开始抽气：进样室60分钟可达到9×10-4 Pa； 5.主腔室具有相应的液氮屏蔽冷阱组件 6.配备至少 * ℃的烘烤温度的烘烤房系统； 7.旋转加热台温度最高加热温度不低于 * ℃。采用PID控制系统，控温精度±0.5℃，转速5-60转/分，连续可调； 8.除气室最高加热温度 * ℃，控温精度±1℃ 9.进样室具备 * ±10 ℃加热功能，一次进样不少于5个； 10.四极质谱仪检测灵敏度：至10-14 Torr量级；质谱数 0- * ； 11.超高真空气动插板阀阀体漏率＜5·10-10 mbar ls-1，阀座＜1·10-9 mbar ls-1 12.具备多个真空度测量系统 13.配备磁力 (略) 样品多层传输、交接，并能储存多片样品； 14.具有漏气自动报警功能； 15.工业级工控机和PLC控制，有自动控制和手动控制两种功能；

标的名称：超高真空射频等离子体源测试系统

标的数量：1

主要功能或目标：能够提供超高真空（极限真空度能达到10-9 Pa）的实验环境。 2.验证射频电源产生的等离子体在超 (略) 为 3.具备旋转加热台， (略) 加热 4.能够表征射频电源产生的等离子体对衬底产生的相互作用

需满足的要求：1.主腔体极限真空度：≤6.65×10-9 Pa(经烘烤除气后，通液氮12小时后)； 2.除气室的极限真空：8.6×10-8 Pa；(经烘烤除气后)； 3.进样室的极限真空：5×10-6 Pa；(经烘烤除气后)； 4.系统从大气（充入干燥氮气）开始抽气：进样室60分钟可达到9×10-4 Pa； 5.主腔室具有相应的液氮屏蔽冷阱组件 6.配备至少 * ℃的烘烤温度的烘烤房系统； 7.旋转加热台温度最高加热温度不低于 * ℃。采用PID控制系统，控温精度±0.5℃，转速5-60转/分，连续可调； 8.除气室最高加热温度 * ℃，控温精度±1℃ 9.进样室具备 * ±10 ℃加热功能，一次进样不少于5个； 10.四极质谱仪检测灵敏度：至10-14 Torr量级；质谱数 0- * ； 11.超高真空气动插板阀阀体漏率＜5·10-10 mbar ls-1，阀座＜1·10-9 mbar ls-1 12.具备多个真空度测量系统 13.配备磁力 (略) 样品多层传输、交接，并能储存多片样品； 14.具有漏气自动报警功能； 15.工业级工控机和PLC控制，有自动控制和手动控制两种功能；