中国科学院合肥物质科学研究院2022年3至12月政府采购意向-AJAPVD-超高真空多磁控溅射系统具有可控制的磁场、稳定的氩气控制方案，
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中国科学院合肥物质科学研究院2022年3至12月政府采购意向-AJAPVD-超高真空多磁控溅射系统具有可控制的磁场、稳定的氩气控制方案，
| AJA PVD | |
| (略) 在采购意向： | (略) 合肥物 (略) * 年3至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 合肥物 (略) |
| 采购项目名称： | AJA PVD |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | 真空应用设备 |
| 采购需求概况： | 超高真空多磁控溅射系统具有 (略) 、稳定的氩气控制方案， (略) 直流磁控溅射、射频磁控溅射、反应磁控溅射和共溅射，能在超高真空环境中制备单层和多层均匀性好、致密性高的半导体材料薄膜、电介质陶瓷材料、金属薄膜、超薄磁性薄膜的异质结及多功能薄膜，为材料科学研究工作提供优质服务。目前，超高真空磁控溅射镀膜技术成熟、应用广泛，是制备薄膜异质结必不可少的仪器，通过多个共聚焦、可独立控制溅射速率的靶枪，可以实现共溅射沉积不同组分的合金薄膜。配合楔形挡板、步进电机和自动控制软件，可精确沉积原子层级别厚度的线性梯度薄膜，进而在单个基片上实现合金组分或异质结中个别膜厚的高通量样品制备、筛选及调控。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| AJA PVD | |
| (略) 在采购意向： | (略) 合肥物 (略) * 年3至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 合肥物 (略) |
| 采购项目名称： | AJA PVD |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | 真空应用设备 |
| 采购需求概况： | 超高真空多磁控溅射系统具有 (略) 、稳定的氩气控制方案， (略) 直流磁控溅射、射频磁控溅射、反应磁控溅射和共溅射，能在超高真空环境中制备单层和多层均匀性好、致密性高的半导体材料薄膜、电介质陶瓷材料、金属薄膜、超薄磁性薄膜的异质结及多功能薄膜，为材料科学研究工作提供优质服务。目前，超高真空磁控溅射镀膜技术成熟、应用广泛，是制备薄膜异质结必不可少的仪器，通过多个共聚焦、可独立控制溅射速率的靶枪，可以实现共溅射沉积不同组分的合金薄膜。配合楔形挡板、步进电机和自动控制软件，可精确沉积原子层级别厚度的线性梯度薄膜，进而在单个基片上实现合金组分或异质结中个别膜厚的高通量样品制备、筛选及调控。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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