-ECR离子束溅射沉积系统(2022预算22)-招标预告
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-ECR离子束溅射沉积系统(2022预算22)-招标预告
| ECR离子束溅射沉积系统( * 预算22) | |
| (略) 在采购意向： | (略) (略) * 年1至8月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) (略) |
| 采购项目名称： | ECR离子束溅射沉积系统( * 预算22) |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> |
| 采购需求概况： | 我所将开展光学超表面器件研发共性技术平台的建设工作，光学超表面对其构筑的介质材料除了高质量制备要求外，其制备速度和产量方面也会影响器件实际应用。 (略) 配置的原子层沉积 (略) 氧化物薄膜的快速沉积加工，因此需要开发除了原子层沉积外的高质量介质薄膜的制备方法，提高光学超表面器件的制备和研发效率。 基于电子回旋共振技术（ECR）的离子束溅射沉积系统具有高亮度离子源，可以成为UHV 兼容的原子氧源，在做氧化物沉积同时补充氧原子的功能,其工作真空度高比其他沉积方法的薄膜表面致密而且氧与氢等杂质要比其他真空镀膜系统更低更清洁，因此离子束溅射沉积系统非常适合光学超表面的高质量氧化物介质材料的制备，与原子层沉积方法配合使用，采用不同技术路线高效实现该项目中超表面光学器件的研发和加工。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | * 预算22 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| ECR离子束溅射沉积系统( * 预算22) | |
| (略) 在采购意向： | (略) (略) * 年1至8月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) (略) |
| 采购项目名称： | ECR离子束溅射沉积系统( * 预算22) |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> |
| 采购需求概况： | 我所将开展光学超表面器件研发共性技术平台的建设工作，光学超表面对其构筑的介质材料除了高质量制备要求外，其制备速度和产量方面也会影响器件实际应用。 (略) 配置的原子层沉积 (略) 氧化物薄膜的快速沉积加工，因此需要开发除了原子层沉积外的高质量介质薄膜的制备方法，提高光学超表面器件的制备和研发效率。 基于电子回旋共振技术（ECR）的离子束溅射沉积系统具有高亮度离子源，可以成为UHV 兼容的原子氧源，在做氧化物沉积同时补充氧原子的功能,其工作真空度高比其他沉积方法的薄膜表面致密而且氧与氢等杂质要比其他真空镀膜系统更低更清洁，因此离子束溅射沉积系统非常适合光学超表面的高质量氧化物介质材料的制备，与原子层沉积方法配合使用，采用不同技术路线高效实现该项目中超表面光学器件的研发和加工。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | * 预算22 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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