中国科学院天津工业生物技术研究所2022年4至5月政府采购意向-磁控溅射系统-设备用于芯片表面功能化，将功能性材料以薄膜方式覆加在芯片表面
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中国科学院天津工业生物技术研究所2022年4至5月政府采购意向-磁控溅射系统-设备用于芯片表面功能化，将功能性材料以薄膜方式覆加在芯片表面
| 磁控溅射系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) 天津工业生 (略) * 年4至5月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 天津工业生 (略) |
| 采购项目名称： | 磁控溅射系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 其他光学仪器 |
| 采购需求概况： | 设备用于芯片表面功能化，将功能性材料以薄膜方式覆加在芯片表面，使其具备导电、绝缘、导热、疏水、亲水等特殊性质或功能，增加化学活性基团密度。设备参数不低于：1）极限真空：≤5×10-7 Torr或6.7×10-5 Pa；2）靶源：不少于4个；3）沉积均匀性：≤±5%@ 6 英寸基片；4）集成气路：≥2个。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | 1套 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 磁控溅射系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) 天津工业生 (略) * 年4至5月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 天津工业生 (略) |
| 采购项目名称： | 磁控溅射系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 其他光学仪器 |
| 采购需求概况： | 设备用于芯片表面功能化，将功能性材料以薄膜方式覆加在芯片表面，使其具备导电、绝缘、导热、疏水、亲水等特殊性质或功能，增加化学活性基团密度。设备参数不低于：1）极限真空：≤5×10-7 Torr或6.7×10-5 Pa；2）靶源：不少于4个；3）沉积均匀性：≤±5%@ 6 英寸基片；4）集成气路：≥2个。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | 1套 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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