12吋晶圆底填机招标预告

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12吋晶圆底填机招标预告



12吋晶圆底填机
(略) 在采购意向: (略) (略) * 年2至12月政府采购意向
采购单位: (略) (略)
采购项目名称:12吋晶圆底填机
预算金额: * . 点击查看>> 万元(人民币)
采购品目:
A 点击查看>> -其他电工、电子专用生产设备
采购需求概况:
本设备与三维堆叠键合机配套,为12英寸设备,异质小芯片在晶圆表面通过微凸点键合完成后,需要利 (略) 底填料的晶圆级填充,本设备是业界高端全自动点胶机型,重复定位精度±15μm(3 sigma),电子天平精度±0.01mg,可满足12寸晶圆产品作业,工作平台拥有真空吸附能力和晶圆直接接触不会对晶圆产生划伤/破片等问题,实现微凸点良好焊接的同时完成无缺陷底填工艺。该技术为成套技术核心设备,必须位于同一高洁净度试验室,项目需利用此设备开展异质小芯片Die to Die和Die to Wafer工艺开发,支撑异质异构多芯片堆叠集成技术开发应用。
预计采购时间: 点击查看>>
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。



12吋晶圆底填机
(略) 在采购意向: (略) (略) * 年2至12月政府采购意向
采购单位: (略) (略)
采购项目名称:12吋晶圆底填机
预算金额: * . 点击查看>> 万元(人民币)
采购品目:
A 点击查看>> -其他电工、电子专用生产设备
采购需求概况:
本设备与三维堆叠键合机配套,为12英寸设备,异质小芯片在晶圆表面通过微凸点键合完成后,需要利 (略) 底填料的晶圆级填充,本设备是业界高端全自动点胶机型,重复定位精度±15μm(3 sigma),电子天平精度±0.01mg,可满足12寸晶圆产品作业,工作平台拥有真空吸附能力和晶圆直接接触不会对晶圆产生划伤/破片等问题,实现微凸点良好焊接的同时完成无缺陷底填工艺。该技术为成套技术核心设备,必须位于同一高洁净度试验室,项目需利用此设备开展异质小芯片Die to Die和Die to Wafer工艺开发,支撑异质异构多芯片堆叠集成技术开发应用。
预计采购时间: 点击查看>>
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

    
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