中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2022年2至12月政府采购意向-磁控溅射设备-拟采购磁控溅射设备1台，需满足2英寸到6英寸兼容；材料厚度均
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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2022年2至12月政府采购意向-磁控溅射设备-拟采购磁控溅射设备1台，需满足2英寸到6英寸兼容；材料厚度均
| 磁控溅射设备 | |
| (略) 在采购意向： | (略) 苏州纳米技术与纳 (略) * 年2至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 苏州纳米技术与纳 (略) |
| 采购项目名称： | 磁控溅射设备 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> -其他电工、电子专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 拟采购磁控溅射设备1台，需满足2英寸到6英寸兼容；材料厚度均匀性标准差≤5%；ITO方块电阻均匀性≤10%，目的是研制高性能绿光激光器的一个难点是解决绿光量子阱增益区在p型层生长过程中的热退化问题，途径之一是需要低温制备p型限制层，消除绿光量子阱热退化形成的暗斑缺陷，磁控溅射可以低温甚至室温沉积透明导电氧化物作为绿光激光器的p型限制层，有望解决此难题，从而研制高性能的InGaN绿光激光器。沉积工艺损伤小可以获得低的欧姆接触电阻，超平整薄膜可以降低透明导电氧化物的光损耗。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 磁控溅射设备 | |
| (略) 在采购意向： | (略) 苏州纳米技术与纳 (略) * 年2至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 苏州纳米技术与纳 (略) |
| 采购项目名称： | 磁控溅射设备 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> -其他电工、电子专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 拟采购磁控溅射设备1台，需满足2英寸到6英寸兼容；材料厚度均匀性标准差≤5%；ITO方块电阻均匀性≤10%，目的是研制高性能绿光激光器的一个难点是解决绿光量子阱增益区在p型层生长过程中的热退化问题，途径之一是需要低温制备p型限制层，消除绿光量子阱热退化形成的暗斑缺陷，磁控溅射可以低温甚至室温沉积透明导电氧化物作为绿光激光器的p型限制层，有望解决此难题，从而研制高性能的InGaN绿光激光器。沉积工艺损伤小可以获得低的欧姆接触电阻，超平整薄膜可以降低透明导电氧化物的光损耗。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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