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(一)采购标的名称:金属有机化学气相沉积设备（MOCVD）(二)采购标的需实现的主要功能或者目标:1. 具备氮化物及氧化物薄膜的生长及掺杂功能；2. 气体输运系统中，有 (略) 至少包含：TEGa源，TMGa源、Cp2Mg源、TMAl源、TMIn源，DEZn源，其中TM (略) ； (略) 包含：NH3、SiH4、N2O/ O2；载气为H2、N2；3. 循环水浴控温，精度不低于0.15℃，温度范围：-10℃到+50℃；4. 每炉外延生长3片（含）以上2英寸氮化镓、氧化镓等外延片，并可以更换托盘生长4英寸（含）以上外延片；5. 控温上限不低于1200℃；6. 托盘能旋转，转速范围0~200rpm；7. 托盘水平度≤0.01mm，同心度≤0.05mm。(三)采购标的数量:1套。(四)采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求:（1）货物收到后，由用户指定地点和时间进行安装；（2） (略) 在地对用户进行现场的操作/维护培训，直至掌握。培训内容包括仪器的技术原理、仪器操作、 (略) 理、仪器基本维护等。仪器交货后一周内，应用工程师到达现场进行培训。（3）保修期：自验收之日起至少三年。（4）维修响应时间：保修期内，在24小时内对用户的服务要求作出响应，维修服务包括电话指导和现场维修；需要现场维修的，卖方工程师应在72小时内到达仪器现场。（5）交货期：12个月之内。

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