扫描电子 (略) 在采购意向： (略) 2022年5月政府采购意向采购单位： (略) 采购项目名称：扫描电子显微镜预算金额： 点击查看>> 00万元(人民币)采购品目：
A 点击查看>> -电子光学及离子光学仪器采购需求概况：
具备场发射电子发射枪，电子色散范围在0.2-1eV；电子加速电压范围为100V-30kV；电子着 点击查看>> 电压范围20eV-30keV；电子束流范围1pA-80nA；图像放大倍数20- 点击查看>> 倍连续可调； (略) 自动对中功能，实现电子束、光阑、像散、对焦、亮度对比度等的自动调整；配备二次电子和背散射电子探测器，其中二次电子图像分辨率在加速电压1kV时优于0.8nm；在15kV时优于0.6nm；可对半导体、绝缘体等材料和器件进行良好的成像；配备多功能5轴样品台，xy方向行程≥110mm，倾转角度范围-15°至+90°；配备6英寸及以上的晶圆样品台/夹，配备图像连续采集和自动拼接功能，可对6英寸以上晶圆进行变倍率大面积无缝连续采图；配备能谱分析仪，探头面积≥170mm2；能谱仪分辨能力符合ISO 点击查看>> :2012标准预计采购时间：2022-05备注：

扫描电子 (略) 在采购意向： (略) 2022年5月政府采购意向采购单位： (略) 采购项目名称：扫描电子显微镜预算金额： 点击查看>> 00万元(人民币)采购品目：
A 点击查看>> -电子光学及离子光学仪器采购需求概况：
具备场发射电子发射枪，电子色散范围在0.2-1eV；电子加速电压范围为100V-30kV；电子着 点击查看>> 电压范围20eV-30keV；电子束流范围1pA-80nA；图像放大倍数20- 点击查看>> 倍连续可调； (略) 自动对中功能，实现电子束、光阑、像散、对焦、亮度对比度等的自动调整；配备二次电子和背散射电子探测器，其中二次电子图像分辨率在加速电压1kV时优于0.8nm；在15kV时优于0.6nm；可对半导体、绝缘体等材料和器件进行良好的成像；配备多功能5轴样品台，xy方向行程≥110mm，倾转角度范围-15°至+90°；配备6英寸及以上的晶圆样品台/夹，配备图像连续采集和自动拼接功能，可对6英寸以上晶圆进行变倍率大面积无缝连续采图；配备能谱分析仪，探头面积≥170mm2；能谱仪分辨能力符合ISO 点击查看>> :2012标准预计采购时间：2022-05备注：