复旦大学2022年8月政府采购意向-II-VI族化合物半导体分子束外延系统-分子束外延（MBE）系统包含外延Ⅱ-Ⅵ材料生长的衬底处理，生
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复旦大学2022年8月政府采购意向-II-VI族化合物半导体分子束外延系统-分子束外延（MBE）系统包含外延Ⅱ-Ⅵ材料生长的衬底处理，生
| II-VI族化合物半导体分子束外延系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) 2022年8月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | II-VI族化合物半导体分子束外延系统 |
| 预算金额： | 点击查看>> 00万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 真空应用设备 |
| 采购需求概况： | 分子束外延（MBE）系统包含外延Ⅱ-Ⅵ材料 (略) 理，生长过程的控制和后道工艺。进样室和过渡室的极限真空度可以达到10-10Torr，生长室极限真空能到10-11 Torr；最大可容纳4英寸衬底；预除气可达800℃；在MBE装置中可附有四极质谱仪、电离计(束流规)高能电子衍射(RHEED)、原位椭偏仪等，可以随时监控外延层的成份和结构的完整性。 |
| 预计采购时间： | 2022-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| II-VI族化合物半导体分子束外延系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) 2022年8月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | II-VI族化合物半导体分子束外延系统 |
| 预算金额： | 点击查看>> 00万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 真空应用设备 |
| 采购需求概况： | 分子束外延（MBE）系统包含外延Ⅱ-Ⅵ材料 (略) 理，生长过程的控制和后道工艺。进样室和过渡室的极限真空度可以达到10-10Torr，生长室极限真空能到10-11 Torr；最大可容纳4英寸衬底；预除气可达800℃；在MBE装置中可附有四极质谱仪、电离计(束流规)高能电子衍射(RHEED)、原位椭偏仪等，可以随时监控外延层的成份和结构的完整性。 |
| 预计采购时间： | 2022-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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