复旦大学2022年8月政府采购意向-原子层薄膜气相沉积系统-原子层沉积设备主要用于沉积出薄膜材料，满足沉积Al2O3、H
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复旦大学2022年8月政府采购意向-原子层薄膜气相沉积系统-原子层沉积设备主要用于沉积出薄膜材料，满足沉积Al2O3、H
| 原子层薄膜气相沉积系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) 2022年8月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 原子层薄膜气相沉积系统 |
| 预算金额： | 点击查看>> 00万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 真空应用设备 |
| 采购需求概况： | 原子层沉积设备主要用于沉积出薄膜材料，满足沉积Al2O3、HfO2、ZrO2等薄膜材料的需要。原子层沉积设备主要由腔体、 (略) 、加热前驱源系统、真空系统、 (略) 分组成。均匀性在±5% （20nm基础） 。反应腔须满足直径不小于200mm的晶圆基底镀膜的使用要求。兼容4英寸硅片。反应腔体最高加热温度≥500℃。工艺温度范围为30–500℃。反应腔的控制精度须≤±2℃。真空腔外壁为全冷壁，在设备的正常运行时，真空腔外壁温度应不超过35℃。每个液态料源装置均须配制循环水水浴装置，以稳定低蒸发压液态源温度。水浴温度须≤±2℃。采用电容耦合等离子系统，射频频率为 点击查看>> MHz或更优，功率不小于300W，要求功率可以调节。 |
| 预计采购时间： | 2022-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 原子层薄膜气相沉积系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) 2022年8月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 原子层薄膜气相沉积系统 |
| 预算金额： | 点击查看>> 00万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 真空应用设备 |
| 采购需求概况： | 原子层沉积设备主要用于沉积出薄膜材料，满足沉积Al2O3、HfO2、ZrO2等薄膜材料的需要。原子层沉积设备主要由腔体、 (略) 、加热前驱源系统、真空系统、 (略) 分组成。均匀性在±5% （20nm基础） 。反应腔须满足直径不小于200mm的晶圆基底镀膜的使用要求。兼容4英寸硅片。反应腔体最高加热温度≥500℃。工艺温度范围为30–500℃。反应腔的控制精度须≤±2℃。真空腔外壁为全冷壁，在设备的正常运行时，真空腔外壁温度应不超过35℃。每个液态料源装置均须配制循环水水浴装置，以稳定低蒸发压液态源温度。水浴温度须≤±2℃。采用电容耦合等离子系统，射频频率为 点击查看>> MHz或更优，功率不小于300W，要求功率可以调节。 |
| 预计采购时间： | 2022-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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