松山湖材料实验室2022年04月至2022年08月政府采购意向
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松山湖材料实验室2022年04月至2022年08月政府采购意向
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《 (略) 关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕 (略) ）等有关规定，现将本单位2022年04月至2022年08月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 松山湖材料实验室离子注入设备采购项目 | 标的名称：高温高能离子注入设备 标的数量：1 主要功能或目标：该离子注入设备需要同时满足薄片IGBT、Smart cut、SiC和VCSEL等核心注入工艺的加工需求。 需满足的要求："需满足的工艺技术指标： 1.注入能量：单电荷≥400KeV； 2.注入剂量：不低于9*1016/cm2； 3.注入离子种类不低于4种，至少包括He、H、P、B 4.均匀性不低于1% 5.衬底尺寸：6英寸向下兼容； 6.具备超薄片传输能力； 7.注入过程需具备控温能力， 可针对LN工艺进行温度控制； 8.能满足SiC高温工艺； 9.设备技术成熟且机台性能稳定，工艺能力成熟。" | 遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品、支持监狱企业发展等政策 | 25,000, 点击查看>> | 2022年08月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
松山湖材料实验室
2022年04月25日
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《 (略) 关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕 (略) ）等有关规定，现将本单位2022年04月至2022年08月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 松山湖材料实验室离子注入设备采购项目 | 标的名称：高温高能离子注入设备 标的数量：1 主要功能或目标：该离子注入设备需要同时满足薄片IGBT、Smart cut、SiC和VCSEL等核心注入工艺的加工需求。 需满足的要求："需满足的工艺技术指标： 1.注入能量：单电荷≥400KeV； 2.注入剂量：不低于9*1016/cm2； 3.注入离子种类不低于4种，至少包括He、H、P、B 4.均匀性不低于1% 5.衬底尺寸：6英寸向下兼容； 6.具备超薄片传输能力； 7.注入过程需具备控温能力， 可针对LN工艺进行温度控制； 8.能满足SiC高温工艺； 9.设备技术成熟且机台性能稳定，工艺能力成熟。" | 遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品、支持监狱企业发展等政策 | 25,000, 点击查看>> | 2022年08月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
松山湖材料实验室
2022年04月25日
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