西安电子科技大学2022年8月政府采购意向-离子注入机-一、标的名称离子注入机；二、标的数量1台；三、主要技术指标（
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西安电子科技大学2022年8月政府采购意向-离子注入机-一、标的名称离子注入机；二、标的数量1台；三、主要技术指标（
| 离子注入机 | |
| (略) 在采购意向： | 西 (略) 2022年8月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西 (略) |
| 采购项目名称： | 离子注入机 |
| 预算金额： | 点击查看>> 00万元(人民币) |
| 采购品目： | 电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 一、标的名称：离子注入机；二、标的数量：1台；三、主要技术指标：（1）晶片尺寸：6英寸、4英寸、2英寸及不规则小片（2）注入能量：30-400Kev（3）能量精度：±1%（4）注入元素：N+、P+、B+、Al+等气态和固态元素（5）注入角度：0°~45°自动可调（6）注入均匀性：1σ≤1%（6英寸、5E14、100keV）（7）剂量范围：5E11～1E17 ions/cm2（8）装片方式：手动；单批4靶位 （包含1个加热靶位）（9）注入温度：RT~550℃（10）X射线泄漏值：≤0.6μSv/h（11）扫描方式：水平静电扫描+垂直机械扫描 |
| 预计采购时间： | 2022-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 离子注入机 | |
| (略) 在采购意向： | 西 (略) 2022年8月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西 (略) |
| 采购项目名称： | 离子注入机 |
| 预算金额： | 点击查看>> 00万元(人民币) |
| 采购品目： | 电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 一、标的名称：离子注入机；二、标的数量：1台；三、主要技术指标：（1）晶片尺寸：6英寸、4英寸、2英寸及不规则小片（2）注入能量：30-400Kev（3）能量精度：±1%（4）注入元素：N+、P+、B+、Al+等气态和固态元素（5）注入角度：0°~45°自动可调（6）注入均匀性：1σ≤1%（6英寸、5E14、100keV）（7）剂量范围：5E11～1E17 ions/cm2（8）装片方式：手动；单批4靶位 （包含1个加热靶位）（9）注入温度：RT~550℃（10）X射线泄漏值：≤0.6μSv/h（11）扫描方式：水平静电扫描+垂直机械扫描 |
| 预计采购时间： | 2022-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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