上海交通大学2022年6至9月政府采购意向-离子束刻蚀系统-拟购置一台套离子束溅射刻蚀系统可兼容6英寸及以下衬底，可实现-采招网

上海交通大学2022年6至9月政府采购意向-离子束刻蚀系统-拟购置一台套离子束溅射刻蚀系统可兼容6英寸及以下衬底，可实现

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上海交通大学2022年6至9月政府采购意向-离子束刻蚀系统-拟购置一台套离子束溅射刻蚀系统可兼容6英寸及以下衬底，可实现

离子束刻蚀系统
(略) 在采购意向：	(略) 2022年6至9月政府采购意向
采购单位：	(略)
采购项目名称：	离子束刻蚀系统
预算金额：	点击查看>> 00万元(人民币)
采购品目：	A 点击查看>> 电子工业专用生产设备
采购需求概况：	拟购置一台套离子束溅射刻蚀系统可兼容 6 英寸及以下衬底，可实现高垂直性的各向异性刻蚀，同时通过辅助特气可实现高选择性刻蚀，并配置有倾斜光栅辅助刻蚀功能实现倾斜图形刻蚀。
预计采购时间：	2022-06
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

离子束刻蚀系统
(略) 在采购意向：	(略) 2022年6至9月政府采购意向
采购单位：	(略)
采购项目名称：	离子束刻蚀系统
预算金额：	点击查看>> 00万元(人民币)
采购品目：	A 点击查看>> 电子工业专用生产设备
采购需求概况：	拟购置一台套离子束溅射刻蚀系统可兼容 6 英寸及以下衬底，可实现高垂直性的各向异性刻蚀，同时通过辅助特气可实现高选择性刻蚀，并配置有倾斜光栅辅助刻蚀功能实现倾斜图形刻蚀。
预计采购时间：	2022-06
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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